[发明专利]弹性波元件、双工器、通信模块、以及通信装置

权利要求书

1.一种弹性波元件，包括：

谐振器，所述谐振器包括激发弹性波的电极；

供电布线部，所述供电布线部被配置为与所述谐振器电连接；

第一介质，在所述第一介质的表面形成所述谐振器和所述供电布线 部；

第二介质，所述第二介质被形成为在所述第一介质上覆盖所述谐振 器；以及

第三介质，所述第三介质被形成为在所述第一介质上至少覆盖所述第 二介质和所述供电布线部；

在所述供电布线部中，由与所述第一介质表面相接的侧面、所述第一 介质的表面构成的第一角度形成为钝角，

所述供电布线部包括形成在所述第一介质的表面的第三层、形成在所 述第三层的上部的第二层、以及形成在所述第二层的上部的第一层，

所述第一层和所述第三层通过耐腐蚀性比所述第二层高的材料形成。

2.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

在所述谐振器中，由与所述第一介质的表面相接的侧面、所述第一介 质的表面构成的第二角度比所述第一角度小。

3.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述第二层通过以铜为主要成分的材料形成。

4.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述第一层或者所述第三层被形成为在所述供电布线部的侧面覆盖所 述第二层。

5.如权利要求1或4所述的弹性波元件，其中，

所述第一层或者所述第三层通过钛、铬、镍、钼、钽、钨、铂、以及 金中的任一种或者两种以上的金属形成。

6.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述第三介质覆盖所述供电布线部的一部分或者全部。

7.如权利要求6所述的弹性波元件，其中，

所述第三介质通过氧化铝形成。

8.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

还包括：与所述供电布线部电连接并被形成使得不被所述第三介质覆 盖的端子电极，

所述端子电极通过钛和金形成。

9.如权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述供电布线部内部包含与构成所述谐振器的电极相同的电极。

10.一种弹性波的制造方法，包括：

在第一介质上涂布抗蚀剂的第一步骤；

对所述抗蚀剂进行图案形成，使得能够在所述第一介质上形成供电布 线部的第二步骤；

在所述第一介质上对构成所述供电布线部的材料进行成膜的第三步 骤；

去除所述抗蚀剂的第四步骤；以及

对第三介质进行成膜使得覆盖所述供电布线部的第五步骤；

在所述第二步骤中，进行所述抗蚀剂的图案形成，使得由所述第一介 质的表面、图案形成后的所述抗蚀剂中的与所述第一介质相接的侧面构成 的角度为锐角。

11.如权利要求10所述的弹性波元件的制造方法，其中，

在所述第五步骤中，所述第三介质通过溅射法、真空淀积法、或者化 学气相沉积法形成。

12.如权利要求10所述的弹性波元件的制造方法，其中，

所述供电布线部通过剥离法进行图案形成。

13.一种双工器，具有权利要求1至9中任一项所述的弹性波元件。

14.一种通信模块，具有权利要求13所述的双工器。

15.一种通信装置，具有权利要求14所述的通信模块。