[发明专利]基板输送装置及基板输送装置的控制方法

权利要求书

1.一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：

移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动；

倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在上述机械手部载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；

倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体进行俯仰摆动，以便消除上述机械手部的上述前端部的倾斜。

2.一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：

设置成上下两段的上述机械手部；

移动组件，该移动组件支承作为上侧的上述机械手部及下侧的上述机械手部的一端的各根部侧，并且使各个上述机械手部在其延长方向往复移动；

倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在各个上述机械手部上载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；

倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体俯仰摆动，以便消除各个上述机械手部的上述前端部的倾斜。

3.如权利要求1记载的基板输送装置，其特征在于，上述移动组件具有：

皮带驱动机构，该皮带驱动机构设置在上述机械手部的宽度方向一方侧，支承上述机械手部的上述根部侧，并且使上述机械手部往复移动；

导向部，该导向部设置在上述机械手部的宽度方向另一方侧，支承上述机械手部的上述根部侧，并且对上述机械手部的往复移动进行导向；

基座部，该基座部将上述皮带驱动机构及上述导向部载置在其上面上。

4.如权利要求2记载的基板输送装置，其特征在于，

上述移动组件具有：

上侧皮带驱动机构，该上侧皮带驱动机构设置在上述上侧的机械手部的宽度方向一方侧，支承上述上侧的机械手部的上述根部侧，并且使上述上侧的机械手部往复移动；

上侧导向部，该上侧导向部设置在上述上侧的机械手部的宽度方向另一方侧，支承上述上侧的机械手部的上述根部侧，并且对上述上侧的机械手部的往复移动进行导向；

下侧皮带驱动机构，该下侧皮带驱动机构设置在上述下侧的机械手部的宽度方向另一方侧，支承上述下侧的机械手部的上述根部侧，并且使上述下侧的机械手部往复移动；

下侧导向部，该下侧导向部设置在上述下侧的机械手部的宽度方向一方侧，支承上述下侧的机械手部的上述根部侧，并且对上述下侧的机械手部的往复移动进行导向；

基座部，该基座部将上述上侧皮带驱动机构、上述上侧导向部、上述下侧皮带驱动机构及上述下侧导向部载置在其上面上。

5.如权利要求3记载的基板输送装置，其特征在于，上述倾斜修正组件是动作执行器，该动作执行器设置在上述基座部的下方，使上述基座部整体俯仰摆动。

6.如权利要求5记载的基板输送装置，其特征在于，上述动作执行器具有使上述基座部整体俯仰摆动的偏心凸轮机构和使该偏心凸轮机构的偏心凸轮旋转的偏心凸轮马达。

7.如权利要求5记载的基板输送装置，其特征在于，

上述基座部的下面是在上述机械手部的延长方向倾斜的倾斜面，

上述动作执行器具有沿上述倾斜面设置的导向轨道；旋转自由地水平固定的滚珠丝杠轴；使该滚珠丝杠轴旋转驱动的滚珠丝杠马达；与上述滚珠丝杠轴螺纹配合，沿上述导向轨道滑动移动的滚珠丝杠螺母。

8.如权利要求1记载的基板输送装置，其特征在于，还具备使上述机械手部、上述移动组件、上述倾斜检测组件及上述倾斜修正组件升降的升降组件。

9.如权利要求1记载的基板输送装置，其特征在于，还具备使上述移动组件整体在上述机械手部的延长方向往复移动的第二移动组件。

10.如权利要求5记载的基板输送装置，其特征在于，

还具备使上述移动组件整体在上述机械手部的延长方向往复移动的第二移动组件，

上述基座部具备上下离开配置的上基座和下基座，

上述第二移动组件具有固定在上述上基座的下面上的滑块和固定在上述下基座上并使该滑块在上述机械手部的延长方向往复移动的滑动机构，

将上述动作执行器设置在上述下基座的下方。