[发明专利]基板输送装置及基板输送装置的控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及输送液晶面板等基板的基板输送装置及基板输送装置的控制方法。

背景技术

输送液晶面板等基板的机器人，一般具备悬臂支承的具有载置基板的叉子的机械手。近年来，因为基板已大型化所以该叉子也必然地变长。叉子自身由重量轻且刚性高的碳制作，以减轻挠曲的方式被考虑，但如果机械手离开了机器人主体即重心，则越离开就越在机械手前端产生由自重、基板的重量引起的挠曲。因此，在将基板输送给成为下一道工序的处理装置、箱时，因为存在基板与它们干涉而成为故障的原因，或者对基板产生损伤的可能性，所以修正机械手的挠曲的各种技术已被提出。

例如，在日本特开平7-99225号公报中，公开了在将基板载置在机械手上时，通过使偏心凸轮由气缸旋转，使机械手绕支承部转动，在与载置基板时产生的挠曲的方向相反的方向对机械手的倾斜角度进行修正的技术。

另外，在国际公开第2005/004230号公报中，公开了在将基板载置在机械手上时，通过使螺旋丝杠由马达旋转使固定了机械手的倾斜台倾斜，来修正机械手的倾斜角度的技术。

在此，机械手的挠曲量，因输送的基板的重量等原因而变化。对于这一点，在日本特开平7-99225号公报公开的技术中，因为将机械手的挠曲量是一定的量作为前提，所以在输送重量不同的基板的情况下不能够使用。另一方面，国际公开第2005/004230号公报公开了预先存储关于由各基板的重量引起的机械手的挠曲量的信息，基于输送的基板和存储的信息修正机械手的倾斜角度。但是，预先存储关于由各基板的重量引起的机械手的挠曲量的信息是烦杂的，在输送没有存储信息的基板时，不能够进行机械手的倾斜角度的修正。

发明内容

本发明的目的在于，测定实际产生的机械手的挠曲，在实时地进行修正的同时在水平状态下更简易地输送载置在机械手上的基板。

根据本发明，提供一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动；倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在上述机械手部载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体进行俯仰摆动，以便消除上述机械手部的上述前端部的倾斜。

另外，根据本发明，提供一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：设置成上下两段的上述机械手部；移动组件，该移动组件支承作为上侧的上述机械手部及下侧的上述机械手部的一端的各根部侧，并且使各个上述机械手部在其延长方向往复移动；倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在各个上述机械手部上载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体俯仰摆动，以便消除各个上述机械手部的上述前端部的倾斜。

另外，根据本发明，提供一种基板输送装置的控制方法，该基板输送装置具备载置基板的机械手部、和支承作为上述机械手部的一端的根部侧并且使上述机械手部在其延长方向往复移动的移动组件，将载置在上述机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：倾斜检测工序，该倾斜检测工序检测伴随在上述机械手部上载置上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正工序，该倾斜修正工序使上述机械手部整体进行俯仰摆动，以便消除上述机械手部的上述前端部的倾斜。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的基板输送装置100的整体立体图。

图2是图1所示的基板输送装置100的正视图。

图3是图1所示的基板输送装置100的侧视图。

图4是移动部20的局部剖视图。

图5是倾斜修正部40的俯视图。

图6是升降组件50的局部剖视图。

图7是机械手部10的放大侧视图。

图8是表示基板输送装置100的控制部300的结构的框图。

图9是表示基板输送装置100的动作开始前的状态的放大侧视图。

图10是表示基板输送装置100的动作途中的状态的放大侧视图。

图11是表示基板输送装置100的动作结束时的状态的放大侧视图。

图12是第二实施方式的基板输送装置200的放大侧视图。

图13是表示第一实施方式的基板输送装置100的控制部300的动作顺序的流程图。