[发明专利]激光清洁系统及其方法

权利要求书

1.一种激光清洁系统，应用于探针治具(10)上探针(11)污物的清除，其特征在于，包括有：

辨识单元(20)，架设于所述探针治具(10)的相对应位置用以辨识所述探针治具(10)上至少待清探针(11)，并取得对应所述待清探针(11)位置的辨识信号；

处理单元(30)，连接于所述辨识单元(20)用以接收所述辨识信号，并产生驱动信号；以及

至少一激光产生单元(40)，受到所述驱动信号的驱动以投射至少一激光(41)于所述待清探针(11)。

2.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述处理单元(30)将所接收的辨识信号输出于显示装置(50)。

3.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述辨识单元(20)包含有：

获得所述探针治具(10)的影像信息的影像撷取装置(21)；以及

连结于所述影像撷取装置(21)的影像辨识系统(22)，辨识出所述待清探针(11)的影像以产生表示所述待清探针(11)的平面位置的辨识信号。

4.根据权利要求3所述的激光清洁系统，其特征在于，所述影像撷取装置(21)是电荷耦合元件。

5.根据权利要求3所述的激光清洁系统，其特征在于，所述影像撷取装置(21)是互补式金氧半导体元件。

6.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述辨识单元(20)包含与探针治具(10)上各探针(11)形成电连结的导接式侦测装置(23)。

7.根据权利要求6所述的激光清洁系统，其特征在于，所述导接式侦测装置(23)具有可供导电且趋向所述探针治具(10)位移的测试板(231)，所述测试板(231)与所述探针(11)接触而导通产生表示所述待清探针(11)的垂直位置的辨识信号，供所述所接触的探针(11)传送至所述处理单元(30)。

8.根据权利要求7所述的激光清洁系统，其特征在于，所述测试板(231)是铜板。

9.根据权利要求7所述的激光清洁系统，其特征在于，所述辨识信号的电压至少大于所述探针(11)工作时的电压。

10.根据权利要求7所述的激光清洁系统，其特征在于，所述辨识信号是由所述处理单元(30)至少通过一探针(11)传递至所述测试板(231)。

11.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述探针治具(10)装设于移动式平台(12)。

12.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)相连于移动臂(42)。

13.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)上连结调整激光(41)投射方向的扫描设备(43)。

14.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)是固态激光。

15.根据权利要求14所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)是倍频固态激光。

16.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)频率范围介于1k至100kHz之间。

17.根据权利要求1所述的激光清洁系统，其特征在于，所述激光产生单元(40)波长范围介于200nm至1200nm之间。

18.一种激光清洁方法，其特征在于，包括步骤有：

将探针治具(10)固定于平台(12)；

辨识所述探针治具(10)上至少一待清探针(11)；

取得所述待清探针(11)位置的辨识信号；

令所述待清探针(11)与待激光投射区域形成相对应关系；以及

投射至少一激光(41)于所述待清探针(11)，以清除所述待清探针(11)上的污物。

19.根据权利要求18所述的激光清洁方法，其特征在于，还包含显示所述识别信号的步骤。

20.根据权利要求18所述的激光清洁方法，其特征在于，在将探针治具(10)固定于平台(12)之前还具有检测所述探针(11)是否需要进行清洁的步骤。