[发明专利]光图像计测装置

权利要求书

1.一种光图像计测装置，其特征在于：包括：

光源，输出低相干光；

干涉光产生元件，将前述低相干光分割成信号光以及参照光，并使经由前述被测定物体的信号光和前述参照光重迭，以产生干涉光；

导光元件，导引前述干涉光；

分光元件，对前述导引的干涉光进行分光；

受光元件，接收前述分光的干涉光，其中基于前述受光元件的受光结果，形成前述被测定物体的图像；

指定元件，对经由前述导光元件和前述分光元件的光的前述受光元件的受光面的照射状态，进行指定；以及

变更元件，基于前述照射状态，改变从前述导光元件的前述光的出射端以及前述受光面间的相对位置及/或方向。

2.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述导光元件为光纤，

前述变更元件包含产生驱动力的驱动元件，通过前述驱动力，改变前述光纤的出射端的位置及/或方向。

3.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述变更元件包含产生驱动力的驱动元件，通过前述驱动力，改变前述受光面的位置及/或方向。

4.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件基于前述受光元件的前述光的受光结果，指定对前述受光面的前述光的照射状态。

5.根据权利要求4所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件基于由前述受光元件接收的前述光的受光光量，指定对前述受光面的前述光的照射位置，

前述变更元件基于前述照射位置，改变前述出射端和前述受光面间的相对位置。

6.根据权利要求5所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的受光光量的正确值，通过比较由前述受光元件接收的前述光的受光光量以及前述正确值，指定前述照射位置。

7.根据权利要求5所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的受光光量的容许范围，

前述变更元件只有在由前述受光元件接收的前述光的受光光量不包含在前述容许范围内时，改变前述出射端和前述受光面的相对位置。

8.根据权利要求5所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的受光光量的容许范围，并且还包括通知元件，当由前述受光元件接收的前述光的受光光量不包含在前述容许范围内时，输出通知信息。

9.根据权利要求4所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件分析前述受光结果，通过指定前述光的每个分光成分的受光光量的差异，指定对前述受光面的前述光的照射方向，

前述变更元件基于前述照射方向，改变前述出射端和前述受光面的相对方向。

10.根据权利要求9所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的每个分光成分的受光光量的差异的正确值，通过比较前述指定的差异以及前述正确值，指定前述照射方向。

11.根据权利要求9所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的每个分光成分的受光光量的容许范围，

前述变更元件只有在前述指定的差异不包含在前述容许范围内时，改变前述出射端和前述受光面的相对方向。

12.根据权利要求9所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述指定元件预先记忆前述受光元件的前述光的每个分光成分的受光光量的差异的容许范围，并且还包括通知元件，当前述指定的差异不包含在前述容许范围内时，输出通知信息。

13.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述变更元件还包括：

棱镜部材；及

驱动机构，将前述棱镜部材插入到前述出射端和前述受光面之间的光路中。

14.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述光是由前述干涉光产生元件所产生的干涉光。

15.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述光是基于从前述光源输出的低相干光的参照光。