[发明专利]缝隙涂敷方法及装置以及滤色片的制造方法

权利要求书

1.一种缝隙涂敷方法，其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出，在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道，且使所述涂敷头行进，借助所述焊道，在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法，其特征在于，具备：

基板保持工序，其将所述基板嵌入并保持在基板保持盘上的凹部中，以使所述基板与所述基板保持盘的面成为同一平面；

减压涂敷工序，其使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进，涂敷涂敷液，且利用与所述涂敷头一体行进的减压腔，对所述焊道的涂敷头行进方向前方进行减压。

2.根据权利要求1所述的缝隙涂敷方法，其特征在于，

所述减压腔减压至该减压腔的内部与外部的压力差成为1～1000mmH₂O。

3.一种缝隙涂敷方法，其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出，在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道，且使所述涂敷头行进，借助所述焊道，在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法，其特征在于，具备：

基板保持工序，其将所述基板嵌入并保持在基板保持盘上的凹部中，使所述基板与所述基板保持盘的面成为同一平面；

加压涂敷工序，其使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进来涂敷涂敷液，且利用与所述涂敷头一体行进的加压腔，对所述焊道的涂敷头行进方向后方进行加压。

4.根据权利要求3所述的缝隙涂敷方法，其特征在于，

所述加压腔加压至该加压腔的内部与外部的压力差成为1～1000mmH₂O。

5.一种缝隙涂敷装置，其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出，在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道，且使所述涂敷头行进，借助所述焊道，在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷装置，其特征在于，具备：

基板保持盘，其具备将所述基板嵌入并使所述基板保持盘与该基板的面成为同一平面的凹部；

行进机构，其使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进；

减压腔，其与所述涂敷头一体形成，对所述焊道的涂敷头行进方向前方进行减压；

减压调整机构，其调整所述减压腔的减压度。

6.一种缝隙涂敷装置，其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出，在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道，且使所述涂敷头行进，借助所述焊道，在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷装置，其特征在于，具备：

基板保持盘，其具备将所述基板嵌入并使所述基板保持盘与该基板的面成为同一平面的凹部；

行进机构，使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进；

加压腔，与所述涂敷头一体形成，对所述焊道的涂敷头行进方向后方进行加压；

加压调整机构，调整所述加压腔的加压度。

7.一种滤色片的制造方法，其是在板状且平坦的透明基板表面形成黑、红、蓝、绿的彩色图案中的至少一色的滤色片的制造方法，其特征在于，

至少具备：

UV照射工序，其向所述透明基板表面照射UV来分解该表面的有机物；

湿式洗涤工序，其用超纯水洗涤所述已进行UV照射的透明基板表面；

涂敷工序，其利用权利要求1～4中任意一项所述的缝隙涂敷方法，在所述已进行湿式洗涤的透明基板表面涂敷彩色抗蚀剂的涂敷液；

曝光·显影工序，其对所述已进行涂敷的彩色抗蚀剂进行曝光及显影，

分别对所述黑、红、蓝、绿的彩色抗蚀剂，进行从所述涂敷工序至所述曝光·显影工序。