[发明专利]缝隙涂敷方法及装置以及滤色片的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种缝隙涂敷方法及装置以及滤色片的制造方法，特别涉及一种在液晶显示器、等离子显示器等图像显示装置中使用的基板或半导体晶片上，以均一的薄膜状态涂敷各种涂敷液的技术。

背景技术

近年来，光学薄膜的需要一直在增加。作为该光学薄膜，例如包括用作各种图像显示装置的显示部的滤色片。制造滤色片时，在玻璃制等的平板状透明基板上，涂敷彩色抗蚀剂、黑矩阵用抗蚀剂、取向控制突起用抗蚀剂、其他光致抗蚀剂液等各种涂敷液，而作为其涂敷方法，采用缝隙涂布涂敷方法、旋涂涂敷方法等。

例如专利文献1所示的之类的缝隙涂布涂敷方法由于可以将形成需要的涂敷面所必需的喷出流体量抑制在必要量的1.1倍以下，所以具有可以比旋涂涂敷方法更大幅度地削减涂敷液的浪费的优点。

另外，在专利文献2中还提出了在利用滑动型模缝涂布机(DieCoater)，向连续行进的带状薄膜涂敷涂敷液时，通过在滑动型模缝涂布机与带状薄膜之间设置减压室，而稳定地形成涂敷液焊道(bead)的方法。

专利文献1：特开2000-126664号公报

专利文献2：特开2006-187723号公报

但是，在固定基板而使涂敷头移动的缝隙涂敷方法中，存在从具有缝隙状的开口部的涂敷头供给的涂敷液容易在基板上断液(在与涂敷方向平行或正交的方向上发生条状的未涂敷部的现象)的问题。特别是在滤色片的情况下，由于在涂敷彩色抗蚀剂之前对基板表面进行UV照射、用超纯水等洗涤，或者在已经涂敷彩色抗蚀剂层的基础上涂敷其他颜色的彩色抗蚀剂，所以基板的表面状态大多不均一。所以难以使涂敷液在基板表面上不发生断液而稳定且均一地涂敷。

作为防止该断液的方法，包括将彩色抗蚀剂的固体成分浓度从以往的20～30％减低至10～20％的方法，但由于粘度变得过低，所以存在彩色抗蚀剂在基板的端部向基板的背侧流入等不良情况。

另外，近年来，图像显示装置用的基板的大型化正在进展中，随着G5、G6、G7、G8及G9尺寸基板的实用化，缝隙涂敷装置也被要求应对大型基板。但是，如果基板大型化，则1批的涂敷所需要的时间(生产节拍时间)也变长，即使提高涂敷速度从而缩短生产节拍时间，也存在发生所述断液的问题。

发明内容

本发明正是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于提供在固定基板、使涂敷头行进的缝隙涂敷方法中，不受基板的表面状态的影响，即使以高涂敷速度，也可以在基板的表面均一且稳定地涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法及装置以及滤色片的制造方法。

本发明的技术方案1为了实现所述目的，提供一种缝隙涂敷方法，其是使涂敷液从涂敷头的缝隙前端流出，在其与板状的平坦基板表面之间的隙间形成涂敷液的焊道，且使所述涂敷头行进，借助所述焊道，在所述基板表面涂敷涂敷液的缝隙涂敷方法，其特征在于，具备：将所述基板嵌入并保持在基板保持盘上的凹部中，以使所述基板与所述基板保持盘的面成为同一平面的基板保持工序；使所述涂敷头从所述基板的一端侧向另一端侧行进，涂敷涂敷液，且利用与所述涂敷头一体行进的减压腔，对所述焊道的涂敷头行进方向前方进行减压的减压涂敷工序。

利用本发明的技术方案1，在减压涂敷工序中，在保持于基板保持盘上的基板表面，使涂敷头从基板的一端侧向另一端侧行进，涂敷涂敷液，且利用与涂敷头一体行进的减压腔，对焊道的涂敷头行进方向前方进行减压。这样，即使是固定基板而使涂敷头行进的缝隙涂敷，也可以稳定形成焊道。因而，即使基板的表面状态例如为基板表面的湿润性低而涂敷液容易弹起的表面状态或者已经在基板表面涂敷其他涂敷液的表面状态，也可以稳定且均一地而且高速地涂敷涂敷液。

另外，在利用减压腔减压焊道的涂敷头行进方向前方的情况下，在涂敷终端位置，减压腔从基板表面挤出到基板保持盘表面。即使这种情况下，在基板保持工序中，将基板嵌入并保持在基板保持盘上的凹部中，以使基板与基板保持盘的面成为同一平面，因此在基板与基板保持盘的边界没有形成高低差。这样，不会发生减压腔引起的减压变动，可以使涂敷液直至涂敷终端位置稳定且均一地涂敷。

本发明的技术方案2的特征在于，在本发明的技术方案1中，所述减压腔减压至该减压腔的内部与外部的压力差成为1～1000mmH₂O。

此外，更优选所述压力差为1～300mmH₂O，进而优选2～150mmH₂O，特别优选5～100mmH₂O。