[发明专利]顶持装置及其顶持物件的方法

权利要求书

1.一种顶持装置，用以顶持一物件，其包括：

一固定座，其内部具有一容置空间；

一顶销，设置于该固定座内，并相对于该固定座进行往复位移而顶持该物件，该顶销内部具有一通道，且该顶销的一端为抽引端，另一端为顶持端，在该抽引端设置一开口与该通道相连接，该顶销的周缘表面开设有多个通孔，所述通孔与该通道相连通；以及

一抽气装置，连接于该开口，用以抽引该顶销外侧的气体及多个微粒穿过该通孔，并经由该通道而自该开口排出。

2.如权利要求1所述的顶持装置，还包括一垫片及一驱动装置，该垫片设置于该抽引端，并通过该驱动装置的驱动以带动该顶销进行往复位移。

3.如权利要求1所述的顶持装置，其中该顶销的材料为金属材料。

4.如权利要求1所述的顶持装置，其中该顶持端设有一顶块，用以顶持该物件。

5.如权利要求4所述的顶持装置，其中该顶块的材料为陶瓷材料。

6.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔的孔径尺寸实质上小于该顶销直径尺寸的四分之一。

7.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔的孔径为0.05mm至0.5mm。

8.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔具有至少两种不同的孔径尺寸。

9.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔的形状为圆形或是椭圆形。

10.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔对称排列于该顶销的周缘表面。

11.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔交错排列于该顶销的周缘表面。

12.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔以波浪状排列于该顶销的周缘表面。

13.如权利要求1所述的顶持装置，其中所述通孔设置于该抽引端与该顶持端之间。

14.一种顶持物件的方法，利用一顶销顶持该物件，该方法包括以下步骤：

致动一抽气装置；

致动该顶销顶持该物件，该顶销内部具有一通道，并在该顶销的抽引端设有连接该通道的一开口，且该顶销的周缘表面开设有多个连通该通道的通孔；以及

致动该顶销缩入至具有容置空间的一固定座内；

其中，该抽气装置连接该开口，并抽引该顶销外侧的气体及多个微粒穿过该通孔，并经由该通道而自该开口排出。

15.如权利要求14所述的顶持物件的方法，其中该顶销借助相连接的一垫片，通过一驱动装置的驱动而致动。

16.如权利要求14所述的顶持物件的方法，其中所述通孔的孔径尺寸实质上小于该顶销直径尺寸的四分之一。

17.如权利要求14所述的顶持物件的方法，其中所述通孔的孔径为0.05mm至0.5mm。

18.如权利要求14所述的顶持物件的方法，其中所述通孔具有至少两种不同的孔径尺寸。

19.如权利要求14所述的顶持物件的方法，其中所述通孔设置于该抽引端与该顶持端之间。

20.一种顶持物件的方法，利用一顶销顶持该物件，该方法包括以下步骤：

致动该顶销顶持该物件，该顶销内部具有一通道，并在该顶销的抽引端设有连接该通道的一开口，且该顶销的周缘表面开设有多个连通该通道的通孔；

致动该顶销缩入至具有容置空间的一固定座内；以及

致动一抽气装置，该抽气装置连接该开口，抽引该顶销外侧的气体及多个微粒穿过该通孔，并经由该通道而自该开口排出。

21.如权利要求20所述的顶持物件的方法，其中该顶销借助相连接的一垫片，通过一驱动装置的驱动而致动。

22.如权利要求20所述的顶持物件的方法，其中所述通孔的孔径尺寸实质上小于该顶销直径尺寸的四分之一。

23.如权利要求20所述的顶持物件的方法，其中所述通孔的孔径范围为0.05mm至0.5mm之间。

24.如权利要求20所述的顶持物件的方法，其中所述通孔具有至少两种不同的孔径尺寸。

25.如权利要求20所述的顶持物件的方法，其中所述通孔设置于该抽引端与该顶持端之间。