[发明专利]顶持装置及其顶持物件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种顶持装置及其顶持物件的方法，特别是一种可抽引顶销外侧的微粒的顶持装置及其方法。

背景技术

液晶显示器的制造过程中，玻璃基板为关键的元件之一，其做为相关工艺的载体，例如清洗、薄膜、曝光、显影、蚀刻、电性设置集成电路元件以及切割等工艺。在一道或数道工艺完成后，即以机械手臂或是人工搬运方式将玻璃基板搬送到下个工艺机台。

由于玻璃基板平放于工艺机台上，为避免玻璃基板自机台上拿取过程不易甚至是因此造成破损，会在机台上装设一基板顶持装置，在工艺完成后即以顶销(lift pin)向上顶持玻璃基板，并将玻璃基板抬起一高度，以方便机械手臂或是作业人员卸除及搬运。

已知的顶持装置利用一顶销的往复位移而顶持玻璃基板，然而顶销在反复多次的往复动作，或是顶销在执行顶持基板的动作时，会使顶销与接触物之间相互摩擦而产生碎屑微粒，这些微粒会对玻璃基板造成严重的污染，导致已有合格率大幅地降低。

在现有技术中，较常使用的顶销设计是中空结构，并在顶销的两端分别开设开口，其顶销底端的开口还连接有一抽气装置。当顶销顶持于玻璃基板时，抽气装置执行抽气动作，以将基板稳定地吸附于顶销上。

虽然已知顶销的两端具有开口的设计，但其目的在于抽引气体以制造出低压环境，存在于顶销外部的微粒还是无法顺利地自顶销的开口处排出，因此仍无法有效解决微粒对玻璃基板造成污染的问题。

因此，需要研发一种顶持装置来避免微粒对如玻璃基板等物件造成污染。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明提供一种顶持装置及其顶持物件的方法，由此改善现有技术中产生的微粒对玻璃基板造成严重污染的问题。

本发明的顶持装置用以顶持一物件，其包括固定座、顶销及抽气装置。固定座内具有一容置空间以供顶销设置于其中，且顶销可相对于固定座进行往复位移从而顶持物件。顶销内部具有一通道，且顶销一端为抽引端，另一端为顶持端，在抽引端处设置一与通道相连接的开口，并在顶销的周缘表面开设有多个与通道相连通的通孔。抽气装置与顶销的开口相连接，用以抽引顶销外侧的气体及多个微粒穿过通孔，并经由顶销内部的通道而自开口排出。

本发明所公开的顶持物件的方法包括以下步骤：致动抽气装置，接着致动顶销位移而顶持物件，并致动顶销缩入至固定座内，而抽气装置在顶销往复位移时持续进行抽气，以抽引顶销外侧的气体及多个微粒穿过顶销的通孔，并经由通道而自开口排出。

根据本发明顶持物件的方法的实施例，首先致动顶销顶持物件，接着致动顶销，使顶销缩入至固定座内，并且致动抽气装置，以抽引顶销外侧的气体及多个微粒穿过通孔而自开口排出。

根据本发明，在顶销的周缘表面开设多个与内部通道连通的通孔，使顶销外部的微粒通过抽气装置的抽引而排出，可避免微粒对物件造成污染，以大幅提高产品合格率。

以上关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的原理，并且为本发明的权利要求书提供更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的顶销的立体示意图。

图2为本发明的顶持装置的剖面示意图。

图3为本发明第一实施例的步骤流程图。

图4为本发明第二实施例的步骤流程图。

图5A为本发明不同型态的顶销的立体示意图。

图5B为本发明不同型态的顶销的立体示意图。

图5C为本发明不同型态的顶销的立体示意图。

图5D为本发明不同型态的顶销的立体示意图。

其中，附图标记说明如下：

110固定座    120顶销        121通道

122抽引端    1221开口       123顶持端

1231顶块     124通孔        130抽气装置

140垫片      150驱动装置    200物件

300微粒

步骤400致动抽气装置，并持续抽引顶销外侧的气体及多个微粒

步骤410致动顶销顶持物件

步骤420致动顶销缩入固定座内

步骤500致动顶销顶持物件

步骤510致动顶销缩入固定座内

步骤520致动抽气装置

具体实施方式

本发明所公开的顶持装置及其顶持物件的方法用以顶持一物件，然而本发明所述的物件可为玻璃基板、电路板、晶片等不堪碰撞且易碎的电子半成品，但并不以此为限。在下面本发明的详细说明中，将以玻璃基板做为本发明的优选实施例，然而附图仅提供参考与说明用，并非用以限制本发明的保护范围。