[发明专利]半导体元件的测试方法与系统

权利要求书

1.一种晶圆的测试方法，该测试方法的特征包含：

提供至少一个晶圆，该晶圆包含多个晶粒；

测试该晶圆上的该些晶粒；

定义该晶圆的边界晶粒，是根据该晶圆的测试结果定义出该些边界晶粒；任一晶粒最多具有8个相邻晶粒，当测试结果中的某一晶粒具有少于8个相邻晶粒时，则定义装置会判断此晶粒为边界晶粒；

选择多个边界晶粒为标的晶粒；以及

执行一比较判断，当该些标的晶粒的错误数量达到一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。

2.如权利要求1所述的测试方法，其特征在于，该标的晶粒包含所有边界晶粒。

3.如权利要求1所述的测试方法，其特征在于，该标的晶粒包含部分边界晶粒。

4.一种晶圆的测试方法，该测试方法的特征包含：提供至少一个晶圆，该晶圆包含多个晶粒，该些晶粒具有各自的晶粒状态；测试该晶圆上的该些晶粒；定义该晶圆的边界晶粒，是根据该晶圆的测试结果定义出该些边界晶粒；任一晶粒最多具有8个相邻晶粒，当测试结果中的某一晶粒具有少于8个相邻晶粒时，则定义装置会判断此晶粒为边界晶粒；执行一分类程序，将该些边界晶粒分类为多个边界晶粒群组；以及执行一比较判断，当至少一边界晶粒群组的至少一晶粒状态到达一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。

5.如权利要求4所述的测试方法，其特征在于，依据边界晶粒所在位置将该些边界晶粒分类为多个边界晶粒群组。

6.一种晶圆的测试方法，该测试方法的特征包含：

提供至少一个晶圆，该晶圆包含多个晶粒；

测试该晶圆上的该些晶粒；

定义该晶圆的边界晶粒，是根据该晶圆的测试结果定义出至少一侧无相邻晶粒的晶粒为边界晶粒；

标示该边界晶粒，是以至少一方向标记来标示该边界晶粒；

执行一分类程序，依该方向将该些边界晶粒分类为多个边界晶粒群组；以及

执行一比较判断，当具有相对方向的边界晶粒的错误比例差异到达一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。

7.一种晶圆的测试系统，该测试系统的特征包含：

一测试装置，用以测试晶圆，其中该晶圆包含多个晶粒；

一定义装置，是根据该测试装置的测试结果定义出该晶圆的至少一边界晶粒；任一晶粒最多具有8个相邻晶粒，当测试结果中的某一晶粒具有少于8个相邻晶粒时，则定义装置会判断此晶粒为边界晶粒；

一选择装置，用以选择该些边界晶粒为标的晶粒；以及

一运算装置，当该些标的晶粒的错误数量达到一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。

8.一种晶圆的测试系统，该测试系统的特征包含：

一测试装置，用以测试一晶圆，而该晶圆包含多个晶粒，该些晶粒具有各自的晶粒状态；

一定义装置，是根据测该测试装置的测试结果定义出该晶圆的至少一边界晶粒；任一晶粒X最多具有8个相邻晶粒，当测试结果中的某一晶粒具有少于8个相邻晶粒时，则定义装置会判断此晶粒为边界晶粒；

一分类装置，用以将该些边界晶粒分类为多个边界晶粒群组；以及

一运算装置，当至少一边界晶粒群组的至少一晶粒状态的数量到达一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。

9.一种晶圆的测试系统，该测试系统的特征包含：

一测试装置，用以测试晶圆，其中该晶圆包含多个晶粒；

一定义装置，是根据测试结果，定义具有至少一侧无相邻晶粒的晶粒为边界晶粒；

一标示装置，用以于该边界晶粒标示至少一无相邻晶粒的方向；

一分类装置，依该方向将所述边界晶粒分类为多个边界晶粒群组；以及

一比较装置，当具有相对方向的边界晶粒的错误比例差异到达一预先设定值时，发出一信号，表示可能有地图偏移的情形。