[发明专利]被检查体的搬送装置和检查装置

权利要求书

1.一种被检查体的搬送装置，其具备将被检查体向进行低温检查的检查室搬送的搬送臂，所述搬送装置的特征在于，包括：

具有所述搬送臂出入的出入口的臂收纳室，其中，

在所述臂收纳室设置有具有从不同的位置供给低露点气体的第一、第二供给部的气体供给单元，从第一供给部向通过所述搬送臂搬入所述臂收纳室内的所述被检查体供给低露点气体。

2.如权利要求1所述的被检查体的搬送装置，其特征在于：

所述第一供给部设置在所述臂收纳室的出入口附近。

3.如权利要求1或2所述的被检查体的搬送装置，其特征在于：

所述第二供给部设置在所述臂收纳室的出入口的内侧。

4.如权利要求1～3中任一项所述的被检查体的搬送装置，其特征在于：

所述低露点气体为干燥空气。

5.一种检查装置，其特征在于，包括：

进行被检查体的低温检查的检查室；和

设置有具有将所述被检查体向该检查室搬送的搬送臂的搬送装置的搬送室，其中

所述搬送装置包括具有所述搬送臂出入的出入口的臂收纳室，在所述臂收纳室设置有具有从不同的位置供给低露点气体的第一、第二供给部的气体供给单元，从第一供给部向通过所述搬送臂搬入所述臂收纳室内的所述被检查体供给低露点气体。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于：

所述第一供给部设置在所述臂收纳室的出入口附近。

7.如权利要求5或6所述的检查装置，其特征在于：

所述第二供给部设置在所述臂收纳室的出入口的内侧。

8.如权利要求5～7中任一项所述的检查装置，其特征在于：

所述搬送室，至少包围设置有所述搬送装置的空间的壁面为气密构造。

9.如权利要求5～8中任一项所述的检查装置，其特征在于：

所述低露点气体为干燥空气。