[发明专利]被检查体的搬送装置和检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及被检查体的搬送装置和检查装置，更详细而言，涉及在半导体晶片等被检查体的低温检查中使用的被检查体的搬送装置和检查装置。

背景技术

现有的这种的检查装置通常包括进行被检查体(例如半导体晶片)的低温检查的探针室和与探针室邻接的负载室。探针室包括：载置半导体晶片并且能够调节半导体晶片的温度的晶片卡盘；配置在晶片卡盘的上方的探针卡(probe card)；和进行探针卡的多个探针与半导体晶片的多个电极片(pad)的对准的对准机构，在对准半导体晶片之后，使在晶片卡盘上设定为-数10℃的低温的半导体晶片与探针卡的探针电接触，进行规定的低温检查。负载室包括以盒单位收纳多个半导体晶片的收纳部和具有在盒与探针室之间搬送半导体晶片的搬送臂的搬送装置，以搬送臂一枚一枚地取出盒内的半导体晶片，进行预对准之后，向探针室搬送，再将检查完成的半导体晶片从探针室向盒内原来的地方搬送。

为了在探针室中以低温进行检查，以例如在专利文献1中记载的半导体晶片上不结露、结冰的方式将与低温检查相称的低露点的干燥空气供给到探针室内，将探针室内的检查环境维持在低露点。若在探针室内结束低温检查，通过搬送臂将检查完成的半导体晶片从探针室内的晶片卡盘向负载室搬出，返回到盒内。此时，由于在专利文献1的检查装置的情况下，从探针室内的低露点环境向未采用该对策的负载室的盒搬送检查完成的半导体晶片，所以半导体晶片在搬入盒的期间发生结露、结冰。该负载室内和盒内通常维持在以清洁室为标准的环境，例如温度25℃、湿度50％(露点：13℃)的环境。

为了防止在盒内的半导体晶片的结露、结冰，在探针室内使用三销(スリ一ピン)使半导体晶片从晶片卡盘浮起，使半导体晶片待机规定时间，直至返回到在负载室内半导体晶片上不结露的温度(露点)为止，在晶片温度达到露点的时刻，通过搬送臂将晶片卡盘上的半导体晶片返回到负载室的盒内。在此，至晶片温度达到露点为止需要相当的待机时间。

因此，在晶片搬送装置中设置具有低露点环境的空间，免去在晶片卡盘上的待机时间，将检查完成的半导体晶片就这样搬入晶片搬送装置的低露点环境中，使晶片温度恢复到在盒内不结露的温度。

专利文献1：专利3388271

发明内容

但是，即使在晶片搬送装置中设置低露点环境，由于盒内的环境接近清洁室的环境，为了使低温检查完成的半导体晶片返回到盒内，必须在低露点环境下待机仅规定时间，直至晶片温度恢复到盒内的露点为止。最近由于存在缩短低温检查时间的倾向，存在在低露点环境下使之待机至半导体晶片温度恢复到盒内的露点的时间而赶不及供给下一个半导体晶片的问题。此外，有必要每次设定在低露点环境下待机的时间。

本发明为解决上述课题而提出，其目的在于提供一种能够使低温检查完成的被检查体在通常的搬送时间内的短时间恢复至不结露的温度，即使缩短低温检查时间也能够使检查完成的被检查体不待机就这样返回到原来的地方，并且供给下一个被检查体，顺利地执行低温检查的被检查体的搬送装置和检查装置。

本发明的第一方面记载的被检查体的搬送装置为具备将被检查体向进行低温检查的检查室搬送的搬送臂的搬送装置，上述搬送装置的特征在于，包括具有上述搬送臂出入的出入口的臂收纳室，在上述臂收纳室设置有具有从不同的位置供给低露点气体的第一、第二供给部的气体供给单元，从第一供给部向通过上述搬送臂搬入上述臂收纳室内的上述被检查体供给低露点气体。

此外，本发明的第二方面记载的被检查体的搬送装置的特征在于：在第一方面记载的发明中，上述第一供给部设置在上述臂收纳室的出入口附近。

此外，本发明的第三方面记载的被检查体的搬送装置的特征在于：在第一方面或第二方面记载的发明中，上述第二供给部设置在上述臂收纳室的出入口的内侧。

此外，本发明的第四方面记载的被检查体的搬送装置的特征在于：在第一方面～第三方面中任一项记载的发明中，上述低露点气体为干燥空气。

此外，本发明的第五方面记载的检查装置的特征在于，包括：进行被检查体的低温检查的检查室；和设置有具有将上述被检查体向该检查室搬送的搬送臂的搬送装置的搬送室，其中，上述搬送装置包括具有上述搬送臂出入的出入口的臂收纳室，在上述臂收纳室设置有具有从不同的位置供给低露点气体的第一、第二供给部的气体供给单元，从第一供给部向通过上述搬送臂搬入上述臂收纳室内的上述被检查体供给低露点气体。