[发明专利]半导体激光器装置

说明书

本申请是申请日为2005年3月11日、申请号为200510053771.8、发明名称为“半导体激光器装置和它的制造方法”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及可以射出多种不同波长光的半导体激光器装置和它的制造方法。

背景技术

现在在CD(紧凑式光盘)/CD-R(紧凑式光盘记录装置两面用)驱动器中，作为光源使用射出波长780nm左右红外光的半导体激光元件(红外半导体激光元件)。此外在DVD(数字通用光盘)驱动器中，作为光源使用射出波长650nm左右红色光的半导体激光元件(红色半导体激光元件)。

另一方面近年来正在开发使用波长405nm左右的蓝紫色光，可以进行记录和再现的DVD。为了用于这样的DVD进行记录和再现，同时也正在进行开发使用射出波长405nm左右的蓝紫色光的半导体激光元件(蓝紫色半导体激光元件)的DVD驱动器。在此DVD驱动器中，对于现在的CD/CD-R和DVD的互换性是非常必要。

这种情况下，利用设置向DVD驱动器分别射出红外光、红色光和蓝紫色光的多个光拾取器装置的方法、或在1个光拾取器装置内设置红外半导体激光元件、红色半导体激光元件和蓝紫色半导体激光元件的方法，可以实现对现在的CD、DVD和新的DVD的互换性。可是由于用这些方法会导致部件个数的增加，难以实现DVD驱动器的小型化、结构简化和降低成本。

为了防止这种部件个数增加，把红外半导体激光元件和红色半导体激光元件集成在1个芯片上的半导体激光元件得到实际应用。

由于红外半导体激光元件和红色半导体激光元件都是在GaAs基板上形成，所以可以集成在1个芯片上，但是由于蓝紫色半导体激光元件不能在GaAs基板上形成，把蓝紫色半导体激光元件和红外半导体激光元件、红色半导体激光元件一起集成在1个芯片上非常困难。

因此提出了制作红色半导体激光元件芯片并制作蓝紫色半导体激光元件的芯片，具有在蓝紫色半导体激光元件的芯片上层叠红色半导体激光元件的芯片的结构的集成化半导体发光装置的方案(例如参照特开2002-118331号公报)。

可是在上述集成化半导体发光装置驱动时，由于红色半导体激光元件的散热是通过蓝紫色半导体激光元件进行的，集成化半导体发光装置本身难以有效地进行散热。因此指出了由于不能充分进行散热造成的集成化半导体发光装置的可靠性降低的问题。

发明内容

本发明的目的是提供可以有效地进行多个半导体激光元件的散热，而且可靠性高的半导体激光器装置和它的制造方法。

按本发明的一种方式的半导体激光器装置具有：在第一基板上有射出第一波长的光的第一半导体层的第一半导体激光元件、在第二基板上有射出第二波长的光的第二半导体层的第二半导体激光元件，第一和第二波长分别不同，是以在与第一基板的一个面垂直的方向上与第一半导体激光元件的发光点不重叠的方式把第二半导体激光元件层叠在第一半导体激光元件上的半导体激光器装置。

在此半导体激光器装置中，以在与第一基板的一个面垂直的方向上与第一半导体激光元件的发光点不重叠的方式，把第二半导体激光元件层叠在第一半导体激光元件上。

这样在第一半导体激光元件的发光点生成的热不影响第二半导体激光元件，可以有效地散热。此外由第二半导体激光元件生成的热不影响第一半导体激光元件的发光点，可以有效地散热。其结果温度特性提高，可靠性提高。

第一半导体激光元件具有由上层面和下层面构成的台阶，第一半导体层的发光点设在上层面的下方，第二半导体激光元件可层叠在第一半导体激光元件的下层面上。

这种情况下，通过第二半导体激光元件层叠在第一半导体激光元件的下层面上，第一半导体激光元件的上层面和层叠的第二半导体激光元件的上面大体成同一个面。这样可以使第一半导体激光元件上层面和第二半导体激光元件的上面接触平坦的散热体。其结果由于可以使用平坦而且便宜的散热体，可以降低制造成本。

此外由于第一半导体激光元件的第一半导体层的发光点位于上层面的下方，第二半导体激光元件的第二半导体层的发光点位于下层面的上方，所以可以在与第一基板的一面平行的方向上，使第一半导体激光元件的发光点和第二半导体激光元件的发光点并排布置。这样半导体激光器装置和光拾取器装置的设计变得容易。