[发明专利]衬底结构、低聚物探针阵列及其制造方法

说明书

技术领域

示范性实施例涉及衬底结构、低聚物探针阵列及其制造方法。 

背景技术

随着基因组工程的发展，已经发现了各种有机体的基因组核苷酸序列，这增加了利用微阵列的兴趣。微阵列可用来进行基因表达压型和基因型，以检测突变和多形态，例如，SNP，以分析蛋白质和肽，对潜在的药物进行筛选，以及开发和制造新药物。 

为了开发这种低聚物探针阵列，生物材料和半导体，例如硅之间的分子界面的功效，对于有效且充分地利用包括生物材料的固有性质的生物材料的固有功能是非常重要的。例如，已经开发了允许低聚物探针与衬底很容易耦合并且作为用来提供低聚物探针和目标样品之间空间裕量的化合物而很有用的化合物。 

在该低聚物探针中，例如，以微米刻度固定关联预定或给定区域中的生物材料的生物材料，例如DNA芯片和/或蛋白质芯片，是非常重要的。利用低聚物探针阵列，可以分析从基因到核苷酸范围的遗传信息的类型，这里基因和核苷酸是DNA的最小组成单元。因此，由于设计尺寸，探针单元可从约几十μm减小到约几μm。 

发明内容

示范性实施例提供用于增加反应产量的高集成低聚物探针阵列的衬底结构。其它示范性实施例提供一种利用该衬底结构形成的低聚物探针阵列。示范性实施例提供分别用来制造该衬底结构和低聚物探针阵列的方法。示范性实施例并不限于上面提到的那些，并且通过下面 的描述，本领域的技术人员将更清楚地理解示范性实施例。 

根据示范性实施例，提供一种衬底结构，其可包括衬底和该衬底上的包括由下面的结构式1表示的化学结构的中间膜。 

<结构式1> 

(其中R₁是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

R₂是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，和 

X与衬底直接或经由固定层耦合)。 

根据示范性实施例，提供一种衬底结构，其可包括衬底和该衬底上的包括由下面的结构式2表示的化学结构的中间膜。 

<结构式2> 

(其中R₁是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

R₂是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

Y与连接器、间隔物或低聚物探针耦合，和 

X直接或经由固定层与衬底耦合)。 

根据示范性实施例，提供一种衬底结构和衬底上的中间膜，该衬底结构可包括具有与低聚物探针耦合的活化区和不与低聚物探针耦合的非活化区的衬底，该中间膜包括活化区上的由结构式2表示的化学结构和非活化区上的由结构式1表示的化学结构。 

<结构式1> 

<结构式2> 

(其中R₁是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

R₂是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

Y与连接器、间隔物或低聚物探针耦合，和 

X直接或经由固定层与衬底耦合)。 

根据示范性实施例，有一种低聚物探针阵列，其可包括示范性实施例的。 

根据示范性实施例，提供一种制造衬底结构的方法，其可包括提供衬底和在衬底上形成包括由下面结构式1表示的化学结构的中间膜。 

<结构式1> 

(其中R₁是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基， 

R₂是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，和 

X直接或经由固定层与衬底耦合)。 

根据示范性实施例，提供一种制造低聚物探针阵列的方法，其可包括：制造根据示范性实施例的衬底结构、曝光至少一部分中间膜、和将至少一部分曝光的中间膜与低聚物探针耦合。 

其它示范性实施例的细节包括在详细描述和图中。