[发明专利]自动外观检查装置无效
| 申请号： | 200810009746.3 | 申请日： | 2008-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101246131A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 河崎喜代司 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 外观 检查 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种自动外观检查装置(1)，以在对象工件(K)的外观检查用的摄像之前进行自动对焦的方式构成，其特征在于，具备：保持多个物镜(11)并且选择某个物镜(11)用于检查的转换器(53)；拍摄通过所选择的物镜(11)而获得的像的摄像单元(51)；使位移传感器(12)在所选择的物镜(11)与对象工件(K)之间进退的位移传感器进退单元(13)；预先存储对象工件(K)上的基准位置(PB)处的物镜(11)的最合适对焦位移作为基准位移(LB)的存储单元(81)；以及，根据位移传感器(12)测量到的到对象工件(K)的位移(LS)和存储在存储单元(81)中的基准位移(LB)，沿上下方向驱动转换器(53)，以使物镜(11)为最合适对焦位移的上下方向驱动单元(6)。
2.如权利要求1所述的自动外观检查装置，其中，在对象工件(K)上形成有导电性图形(D)，位移传感器(12)为电容位移传感器。
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