[发明专利]自动外观检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及自动外观检查装置。尤其涉及被构成为在用于检查对象工件外观的摄像之前进行自动对焦的自动外观检查装置。

背景技术

在半导体或FPD(Flat Panel Display，平板显示器)的制造工序中，需要自动地检查硅晶片或玻璃板上形成的图形是否有伤痕、斑点、剥落、污点等缺陷。这种用于检查的自动外观检查装置具备例如金相显微镜、CCD相机等摄像单元和图像运算处理装置等。由金相显微镜获得的图形的放大像用摄像单元拍摄，变换成图像数据。图像运算处理装置根据该图像数据进行图形外观是否优良的判断。由于图形的外观检查用高倍率的物镜进行，因此一般是在进行自动对焦后拍摄。

作为上述那种自动外观检查装置的发明，本发明者以前提出过例如专利文献1的申请。图8为现有技术的自动外观检查装置1A的结构的概略图。如图8所示，现有技术的自动外观检查装置1A具备检查工作台2、摄像光学组件5A、摄像光学组件驱动单元6、控制用计算机8和图像处理用计算机9等。自动外观检查装置1A最主要的特征在于具备可以选择性地切换配置摄像光学组件5A的物镜11和位移传感器12到同一位置上的转换器53A。

如果采用自动外观检查装置1A，摄像光学组件驱动单元6根据位移传感器12测量到的到对象工件K的位移LS和存储在存储单元81中的基准位移LB，通过将使物镜11与对象工件K之间的位移LT变成基准位移LB地进行自动对焦。由于位移传感器12和物镜11能够通过转换器53A的旋转驱动选择性地切换配置到同一位置上，因此对象工件K上的位移测量位置与对焦位置一致。因此，不用考虑工作台2的平面度就能够实现精度良好的自动对焦。

[专利文献1]日本特开2006-308484号公报

但是，自动外观检查装置1A的结构为本来应该安装物镜11的地方却安装了位移传感器12。即，本来应该有的物镜11减少了一个，在减小了摄像倍率的自由性这一点上功能自然变差。

并且，由于自动外观检查装置1A中将来自位移传感器12的信号取出到外部的电缆136与转换器53A一起运动，因此转换器53A的旋转使电缆产生拧转，结果缩短了电缆的寿命。并且，转换器53A自身也有可能向某个方向旋转360°以上，但受位移传感器12的电缆的存在的制约，限制了其旋转范围。

发明内容

本发明就是鉴于上述问题，其目的是要提供一种不损失摄像倍率的自由性、并且不受位移传感器电缆的存在对转换器动作的制约的自动外观检查装置。

为了达到上述目的，第1方案的自动外观检查装置(1)，以在对象工件(K)的外观检查用的摄像之前进行自动对焦的方式构成，其特征在于，具备：保持多个物镜(11)并且选择某个物镜(11)用于检查的转换器(53)；拍摄通过所选择的物镜(11)而获得的像的摄像单元(51)；使位移传感器(12)在所选择的物镜(11)与对象工件(K)之间进退的位移传感器进退单元(13)；预先存储对象工件(K)上的基准位置(PB)处的物镜(11)的最合适对焦位移作为基准位移(LB)的存储单元(81)；以及，根据位移传感器(12)测量到的到对象工件(K)的位移(LS)和存储在存储单元(81)中的基准位移(LB)，沿上下方向驱动转换器(53)，以使物镜(11)为最合适对焦位移的上下方向驱动单元(6)。

如果采用方案1的自动外观检查装置，位移传感器进退单元(13)采取能够使位移传感器(12)在转换器(53)所选择的物镜(11)与对象工件(K)之间进退的结构。上下方向驱动单元(6)根据使位移传感器(12)进入状态下测量到的到对象工件(K)的位移(LS)和存储在存储单元(81)中的基准位移(LB)而使物镜(11)与对象工件(K)之间的位移(LT)变成基准尉移(LB)，通过这样进行自动对焦。自动对焦时使位移传感器(12)退避。由于位移传感器进退单元(13)与转换器(53)分别设置，不会减少本来应该有的物镜(11)，因此不会减小摄像倍率的自由性。并且，由于位移传感器(12)独立于转换器(53)，因此将位移传感器(12)输出的信号取出到外部的电缆(136)不会因转换器(53)旋转而拧转，能够延长电缆(136)的寿命，不受位移传感器(12)的电缆(136)的存在产生的制约。

第2方案的自动外观检查装置在对象工件(K)上形成有导电性图形(D)，位移传感器(12)为电容位移传感器(静电电容位移传感器)。