[发明专利]电磁气相沉积法自动装片轨道车无效
| 申请号： | 200810023498.8 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101250689A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 沙晓林 | 申请（专利权）人： | 沙晓林 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00;H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226400江苏省如东县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 沉积 自动 轨道 | ||
【权利要求书】：
1、一种电磁气相沉积法自动装片轨道车，其特征是：包括轨道车体，轨道车体下方设置装于轨道上的车轮，轨道车体上设置沿横向两侧移动的上侧移平台。
2、根据权利要求1所述的电磁气相沉积法自动装片轨道车，其特征是：上侧移平台下部设置接近开关。
3、根据权利要求1或2所述的电磁气相沉积法自动装片轨道车，其特征是：上侧移平台通过上平台滑轮装在轨道车体上。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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