[发明专利]电磁气相沉积法自动装片轨道车无效
申请号: | 200810023498.8 | 申请日: | 2008-04-14 |
公开(公告)号: | CN101250689A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 沙晓林 | 申请(专利权)人: | 沙晓林 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00;H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226400江苏省如东县*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁 沉积 自动 轨道 | ||
技术领域:
本发明涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池生产用的轨道车。
背景技术:
现有的非晶硅薄膜太阳能电池生产中,需要将完成装填后的玻璃片移至反应炉前并定位,而现有技术采用人工操作等方法实现。
发明内容:
本发明的目的在于提供一种结构合理,使用方便、效果好的电磁气相沉积法自动装片轨道车。
本发明的技术解决方案是:
一种电磁气相沉积法自动装片轨道车,其特征是:包括轨道车体,轨道车体下方设置装于轨道上的车轮,轨道车体上设置沿横向两侧移动的上侧移平台。
上侧移平台下部设置接近开关。上侧移平台通过上平台滑轮装在轨道车体上。
本发明结构合理,操作、使用方便,工作效果好,大大减少了搬运操作人员的劳动强度。
附图说明:
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1是本发明一个实施例的结构示图。
图2是图1的右视图。
具体实施方式:
一种电磁气相沉积法自动装片轨道车,包括轨道车体1,轨道车体1下方设置装于轨道2上的车轮3,轨道车体上设置沿横向两侧移动的上侧移平台4,轨道车体沿横向两侧移动是通过电机5驱动的丝杆6、螺母7实现的。
上侧移平台下部设置接近开关8。上侧移平台通过上平台滑轮9装在轨道车体上。
图中还有对轨道车进行线控的线控开关10、减速传动机构11。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的