[发明专利]一种MOS器件的测试方法

权利要求书

1.一种MOS器件的测试方法，用于探针卡测试晶圆级MOS器件的导通电阻，所述探针卡上具有若干用于接触所述MOS器件源端的探针，所述探针通过引线连接引出各自位于所述探针卡上若干接线点，其特征在于，所述探针卡还包括单根与所述MOS器件栅极接触的栅极加载探针，将所述探针卡上数个探针作为源端测试探针，将所述数个作为源端测试探针的接线点进行电性导通性连接；将所述探针卡数个探针作为源端加载探针，将所述数个作为源端加载探针的接线点进行电性导通性连接。

2.如权利要求1所述MOS器件的测试方法，其特征在于，所述接线点为探针卡上接线柱或探针卡上接线焊接点。

3.如权利要求2所述MOS器件的测试方法，其特征在于，所述接线焊接点为距所述探针卡上探针距离最近的接线焊接点。

4.如权利要求1所述MOS器件的测试方法，其特征在于，所述探针卡为20根探针的探针卡，13根探针作为源端测试探针，6根探针作为源端加载探针。