[发明专利]可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法

权利要求书

1.一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，由槽口架(a1)、导向定位杆(a2)组合而成；

所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通过固定件定位连接而成，在槽口板(b1)左右二面开有镜向对称槽(c1)和与对称槽(c1)垂直贯通的底部条形槽(c2)；

在槽口板(b1)左右二面端部开有供定位安装导向定位杆(a2)的导向孔(k1)。

2.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述对称槽(c1)是对称梯形槽。

3.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所上述槽口板(b1)底面开有贯穿槽口板(b1)长度方向上的长条凹槽(c4)，所述的筋板(b3)插入凹槽(c4)，以固定件连接槽口板(b1)与筋板(b3)。

4.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所上述槽口板(b1)底面和顶面开有贯穿槽口板(b1)长度方向上的长条凹槽(c3)和(c4)，所述的筋板(b2)和(b3)分别插入凹槽(c3)和(c4)，槽口板与筋板由固定螺钉(b4)固定。

5.根据权利要求4所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述同导向孔(k1)左右二面垂直的槽口板(b1)端面开有定位销孔(k2)，定位销孔(k2)轴线与导向孔(k1)轴线互相垂直相交，定位销(b5)与定位销孔(k2)静配合装配；定位销(b5)上的导向孔(k3)与槽口板(b1)左右二面端部导向孔(k1)同心装配，定位销(b5)通过定位孔(K4)与定位螺钉(b6)固定。

6.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述器具中还包括导向杆(a3)，在上述槽口板(b1)中部开有供安装导向杆(a3)的导向孔(k5)，导向杆(a3)的一端有螺纹，通过紧固螺母(a4)与槽口架(a1)固定。

7.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述导向定位杆(a2)的端面为缺损圆形或圆形。

8.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述槽口架(a1)是聚四氟乙烯材料，导向定位杆(a2)和导向杆(a3)是不锈钢材料。

9.一种如权利要求1所述可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆(a2)，将二个或多个槽口架(a1)通过槽口架定位孔(k1)串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉(b6)固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。

10.一种如权利要求1所述可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆(a2)和(a3)，将二个或多个槽口架(a1)通过槽口架定位孔(k1)和(k5)串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉(b6)固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。