[发明专利]可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法

说明书

技术领域：

本发明涉及硬面光掩模基板制造领域以及光学玻璃加工领域，尤其是一种用于硬面光掩模基板制造过程中的承载清洗器具。

技术背景：

根据国家硬面光掩模基板标准，硬面光掩模基板标准长宽规格系列7项，标准厚度规格系列6项。这些不同规格产品要经过切割、研磨抛光和清洗制程，在生产过程中承载清洗器具对于简化工序操作，减少脆性材料的破损，提高清洗效能有着关键性的影响。

现有技术中硬面光掩模基板承载清洗器具采用的是篮筐式结构，如图1所示。篮筐式承载清洗架在实际使用中存在一些问题。首先，为了保证器具本身的固形要求，一般选择有一定硬度的工程塑料，操作不当容易造成脆性材料工件损伤。其次，篮筐式承载清洗架的结构，特别是加强筋会阻挡水流，影响清洗效果。另外，篮筐式承载清洗架的插槽宽度固定，不同规格硬面光掩模基片需要使用不同规格承载清洗架，通用性差。

发明内容：

本发明所要解决的技术问题就是克服上述现有技术的不足，提供一种能够简化工序，降低工件损伤，提高清洗功效，使用方便灵活的硬面光掩模基板加工清洗承载清洗器具。该器具也可适用于光学玻璃加工领域。

具体的技术方案是：

一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，由槽口架a1、导向定位杆a2组合而成，；

所述的槽口架a1由槽口板b1、筋板b2和b3通过固定件定位连接而成。在槽口板b1左右二面开有镜向对称槽c1和与对称槽c1垂直贯通的底部条形槽c2；在槽口板b1左右二面端部开有供定位安装导向定位杆a2的导向孔k1。

上述对称槽c1是对称梯形槽。对称梯形槽c1和与之垂直贯通的底部条形槽c2组合，适合插入和支撑不同厚度的工件。

在上述槽口板b1底面开有贯穿槽口板b1长度方向上的长条凹槽c4，所述的筋板b3插入凹槽c4，以固定件连接槽口板b1与筋板b3。

在上述槽口板b1底面和顶面开有贯穿槽口板b1长度方向上的长条凹槽c3和c4，所述的筋板b2和b3分别插入凹槽c3和c4，筋板b2和b3使槽口架a1整体具有钢性，不易变形，槽口板与筋板由固定螺钉b4固定。

在上述同导向孔k1左右二面垂直的槽口板b1端面开有定位销孔k2，定位销孔k2轴线与导向孔k1轴线互相垂直相交，定位销b5与定位销孔k2静配合装配；定位销b5上的导向孔k3与槽口板b1左右二面端部导向孔k1同心装配，定位销b5通过定位孔K4与定位螺钉b6固定。

上述器具中还包括导向杆a3，在上述槽口板b1中部开有供安装导向杆a3的导向孔k5，导向杆a3的一端有螺纹，通过紧固螺母a4与槽口架a1固定。

上述导向定位杆a2的端面为缺损圆形或圆形。

上述槽口架a1是聚四氟乙烯材料，导向定位杆a2和导向杆a3是不锈钢材料，可根据需要制成各种长度。

一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆a2，将二个或多个槽口架a1通过槽口架定位孔k1串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉b6固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。

一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆a2和a3，将二个或多个槽口架a1通过槽口架定位孔k1和k5串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉b6固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。

本发明的有益效果：

相对于现有技术，所述承载清洗器具优点在于：一是器具通用性好，只要按工件的宽度规格调整好槽口架之间的间距，可以用于不同规格的工件承载清洗。二是灵活方便，不同规格工件可以同时组合清洗。三是整体不易变形，而槽口富有弹性，易于工件插入和固定，不易造成工件损伤。四是清洗过程中不会出现水流阻挡现象，可以增加待清洗工件和水流接触，能有效提高工件的洁净度和操作功效。

附图说明：

图1现有技术硬面光掩模基板制造承载清洗器具示意图；

图2本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具示意图；

图3本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具槽口架a1结构示意图；

图4本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具导向定位杆a2、导向杆a3结构示意图；

图5、6本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具装配示意图。

具体实施方式：