[发明专利]环境参数测量方法及系统

权利要求书

1、一种环境参数测量方法，其特征在于，包括：

获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

采集所述位置对应的环境参数值；以及

存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述环境参数为集成电路生产区域的环境参数。

3、如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述环境参数为温度和湿度。

4、如权利要求1所述的方法，其特征在于，采用能够与计算机进行数据传递的采集装置采集所述环境参数。

5、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置预先设置有标识装置，该标识装置存储有该位置的位置信息；以及

从所述标识装置内获得所述位置信息。

6、如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述从标识装置内获得位置信息，具体包括：

识别所述标识装置；

从识别出的所述标识装置内获得位置信息。

7、如权利要求6所述的方法，其特征在于，识别所述标识装置，具体包括：

发送第一识别信号；

接收标识装置根据第一识别信号返回的反馈信号；

根据所述反馈信号，识别出所述标识装置。

8、如权利要求6所述的方法，其特征在于，识别所述标识装置，具体包括：

接收标识装置发送的第二识别信号；

根据第二识别信号，识别出所述标识装置。

9、如权利要求5～8任一项所述的方法，其特征在于，所述获得位置信息，具体包括：

接收标识装置发送的所述位置信息。

10、如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述获得位置信息，还具体包括：发送用于请求标识装置发送位置信息的请求信息的步骤。

11、如权利要求2～8任一项所述的方法，其特征在于，还包括将存储的所述对应关系及信息，更新到制造执行系统及质量工程系统的步骤。

12、一种环境参数测量系统，其特征在于，包括：

位置信息获得单元，用于获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

环境参数采集单元，用于采集所述位置对应的环境参数值；以及

存储单元，用于存储所述位置信息获得单元获得的位置信息和环境参数采集单元采集的环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

13、如权利要求12所述的系统，其特征在于，包括：所述环境参数为集成电路生产区域的环境参数。

14、如权利要求13所述的系统，其特征在于，所述环境参数为温度和湿度。

15、如权利要求14所述的系统，其特征在于，环境参数采集单元采用能够与计算机进行数据传递的采集装置，采集所述温度和湿度。

16、如权利要求12所述的系统，其特征在于，在所述位置预先设置有标识装置，该标识装置存储有该位置的位置信息；以及所述位置信息获得单元从所述标识装置内获得所述位置信息。

17、如权利要求12～16中任一项所述的系统，其特征在于，还包括用于将存储的所述对应关系及信息，更新到制造执行系统及质量工程系统的单元。