[发明专利]光刻机硅片承载台及其使用方法

权利要求书

1.一种光刻机硅片承载台，包括承载台基座、真空孔、连接器、硅片 接送器；所述承载台基座上设有多个真空孔及硅片接送器；承载台基座底 部设有连接器；其特征在于：所述承载台基座的表面设置多个应力感应器； 所述多个应力感应器分布于承载台基座的表面，所述应力感应器的顶端为 圆弧形；

所述每个应力感应器能够根据应力的大小调节高度；

所述应力感应器的顶端高于承载台基座的上表面；

所述各应力感应器彼此独立。

2.根据权利要求1所述的光刻机硅片承载台，其特征在于：所述应力 感应器连接力电转换电路，力电转换电路的输出端与终端控制器连接，终 端控制器连接动力马达。

3.根据权利要求1所述的光刻机硅片承载台，其特征在于：所述应力 感应器通过感应硅片对其作用力的作用点、大小、方向的信息，实现伸缩， 调节高度。

4.根据权利要求1所述的光刻机硅片承载台，其特征在于：所述承载 台基座与硅片接送器之间为间隙配合。

5.根据权利要求1所述的光刻机硅片承载台，其特征在于：所述承载 台基座的形状可以是圆形、矩形、五角形或星形。

6.一种权利要求1所述的光刻机硅片承载台的使用方法，其特征在于： 采用以下步骤固定硅片：

第一步，驱动硅片接送器的伸缩，将硅片置于各应力感应器顶端形成 的平面上；

第二步，通过真空孔对硅片进行吸真空，使硅片与应力感应器的顶端 保持固定；

第三步，各应力感应器将感应到的硅片对其作用力的信号传送给力电 转换电路，力电转换电路将该应力信号转换为电信号，并将电信号送入终 端控制器统一处理；

第四步，终端控制器通过控制每个应力感应器的动力马达，来控制各 应力感应器的伸缩，调节其高度，使各应力感应器的顶端形成一个动态的 接触面，从而使硅片的正面保持在同一水平面上。