[发明专利]光刻机硅片承载台及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造设备，具体涉及一种光刻机硅片承载台， 本发明还涉及该光刻机硅片承载台的使用方法。

背景技术

目前使用的硅片承载台，与硅片接触的面是固定不变的。使用这种硅 片承载台，如果硅片的背面有颗粒等粘污，硅片的正面就不在同一水平面 上。当光刻机曝光时，会使硅片上的颗粒所对应的正面图形区域产生离焦 现象，造成光刻图形的形貌发生变化，受影响的硅片需要进行光刻返工。 影响严重的硅片甚至光刻返工也不能解决问题，影响产品品质。

如果硅片上的颗粒掉在承载台上，还会影响后续作业的产品质量，造 成光刻资源的浪费，生产成本的提高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种光刻机硅片承载台，它可以保 证硅片的正面在同一水平面上。

为解决上述技术问题，本发明光刻机硅片承载台的技术解决方案为：

包括承载台基座、真空孔、应力感应器、连接器、硅片接送器；所述 承载台基座上设有多个真空孔及硅片接送器；承载台基座底部设有连接器； 所述承载台基座的表面设置多个应力感应器。

所述应力感应器的顶端高于承载台基座的上表面。所述应力感应器连 接力电转换电路，力电转换电路的输出端与终端控制器连接，终端控制器 连接动力马达。所述各应力感应器彼此独立。

应力感应器通过感应硅片对其作用力的作用点、大小、方向等信息， 实现伸缩，调节高度。

所述承载台基座与硅片接送器之间为间隙配合。

本发明还提供了该光刻机硅片承载台的使用方法，采用以下步骤固定 硅片：

第一步，驱动硅片接送器的伸缩，将硅片置于各应力感应器顶端形成 的平面上；

第二步，通过真空孔对硅片进行吸真空，使硅片与应力感应器的顶端 保持固定；

第三步，各应力感应器将感应到的硅片对其作用力的信号传送给力电 转换电路，力电转换电路将该应力信号转换为电信号，并将电信号送入终 端控制器统一处理；

第四步，终端控制器通过控制每个应力感应器的动力马达，来控制各 应力感应器的伸缩，调节其高度，使各应力感应器的顶端形成一个动态的 接触面，从而使硅片的正面保持在同一水平面上。

本发明可以达到的技术效果是：

本发明光刻机硅片承载台，通过调节与硅片接触的各应力感应器的高 度，能够保证硅片的正面始终处于同一水平面上，避免因硅片背面存在颗 粒等沾污引起的正面图形离焦现象，减少光刻返工的现象。

本发明的使用，既可以减小制造成本，又可以提高硅片流通速度，同 时可避免因光刻返工带来的产品品质影响。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1是本发明光刻机硅片承载台的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是应力感应器与干净硅片接触时，应力感应器所受作用力的示意 图；

图4是硅片背面有颗粒沾污时，应力感应器与硅片接触所受的作用力 的示意图。

图中，1承载台基座，2真空孔，3应力感应器，4连接器，5硅片接送 器，6硅片，F、F’应力感应器所受的作用力，7颗粒。

具体实施方式

如图1、图2所示，本发明光刻机硅片承载台，包括承载台基座1、真 空孔2、应力感应器3、连接器4、硅片接送器5；承载台基座1上设有多 个真空孔2及硅片接送器5；承载台基座1底部设有连接器4。

真空孔2用于对硅片6进行吸真空，以固定硅片6。硅片接送器5用于 接送硅片6。承载台基座1与硅片接送器5之间为间隙配合，硅片接送器5 能够在承载台基座1上下伸缩，便于硅片6的接送。连接器4将承载台基 座1固定于光刻机机台上。

承载台基座1的形状可以是圆形、矩形、或五角形、星形等形状。

承载台基座1的表面设置多个应力感应器3，应力感应器3的顶端高于 承载台基座1的上表面，各应力感应器3的顶端与硅片6背面接触，用于 支撑硅片6。每个应力感应器3彼此独立，每个应力感应器3连接一个动力 马达。各应力感应器3连接一个共同的力电转换电路，力电转换电路的输 出端与终端控制器连接。

本发明光刻机硅片承载台的使用方法如下：