[发明专利]一种铜键合丝光亮化热处理的保护装置

权利要求书

1.一种铜键合丝光亮化热处理的保护装置，包括有气室，气室上端设有与气室连通的排气管，气室的下端设有惰性气体进气嘴，惰性气体进气嘴上装有惰性气体进气管，其特征是：所述气室内腔由隔板将其分隔为左气室和右气室，在左气室的侧壁上和隔板上设有同轴的穿线孔，其中左气室上设有与左气室连通的排气管，右气室上设有与右气室连通的排气管，在右气室上还设有与右气室相连通的氢气进气管，位于右气室的下端装有惰性气体进气嘴，惰性气体进气嘴上装有惰性气体进气管。

2.根据权利要求1所述的铜键合丝光亮化热处理的保护装置，其特征是：左气室的侧壁上的穿线孔和隔板上的穿线孔处分别焊接有锥形漏斗，且锥形漏斗的长度小于惰性气体进气管至隔板之间的直线距离。

3.根据权利要求1所述的铜键合丝光亮化热处理的保护装置，其特征是：氢气进气管的长度为退火管长度的1/16～1/2，且在氢气进气管上设有均匀分布的小孔。

4.根据权利要求1所述的铜键合丝光亮化热处理的保护装置，其特征是：排气管内分别装有风扇。

5.根据权利要求1所述的铜键合丝光亮化热处理的保护装置，其特征是：所述惰性气体进气嘴为扇形结构，其中心与右气室上的排气管中心同轴。