[发明专利]附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪无效

专利信息
申请号: 200810050890.1 申请日: 2008-06-27
公开(公告)号: CN101315348A 公开(公告)日: 2008-12-03
发明(设计)人: 李万程;牛忠国;刘凤敏;杜国同;张源涛 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 代理人: 张景林;刘喜生
地址: 130023吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 附加 微量 气枪 用于 气体 传感器 在线 测试 电子 能谱仪
【权利要求书】:

1、附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪,由真空反应室(20)、提供满足测试要求真空度的超高真空系统(21)、提供合适样品温度的变温样品台(22)、提供激发样品所需的合适粒子的激发源(23)、用于分辨不同能量光电子的能量分析器(24)、用于数据采集和分析的数据采集系统(25)组成,其特征在于:在真空反应室上还附加了微量进气枪(26)。

2、如权利要求1所述的附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪,其特征在于:在真空反应室上还附加有用于残余气体分析的四极杆质谱仪(27)。

3、如权利要求1或2所述的附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪,其特征在于:微量进气枪(26)由旋钮(1)、螺杆(2)、带有与螺杆(2)相配合内螺纹的定套管(3)、刻度指针(4)、带刻度的外套管(5)、针阀(6)、进气法兰(7)、波纹管上法兰(8)、波纹管(9)、波纹管下法兰(10)、进气枪管(11)组成,定套管(3)和刻度指针(4)固定在波纹管下法兰(10)上,波纹管下法兰(10)固定在电子能谱仪的真空室(20)上,带刻度的外套管(5)、针阀(6)、进气法兰(7)固定在波纹管上法兰(8)上,进气法兰(7)连接反应气。

4、如权利要求3所述的附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪,其特征在于:在反应气和微量进气枪(26)中间串联一个质量流量计,其精度范围为1~100sccm。

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