[发明专利]光学元件的行星主动抛光装置及方法

权利要求书

1、一种光学元件的行星主动抛光装置，其特征是：抛光模(7)与动力行星抛光头之间通过球头柔性连接，便于压缩空气通过导气管输送到动力行星抛光头，由进气口进入抛光头内的柱塞进气腔，柱塞推动球头顶杆将抛光模(7)压向工件的抛光表面；行星抛光头装置采用平行四连杆平衡定位机构(8)，实现抛光模(7)平动；由行星电机(3)传动通过软轴(4)、传动机构(6)传动给抛光模(7)作行星动力转动；通过调节螺杆(5)，调整抛光模(7)的位置可获得不同公转半径，以适应不同工件的抛光要求；在主轴电机(2)和行星电机(3)的共同作用下，抛光模(7)既可以进行平转动，又可以进行行星转动。

2、根据权利要求1所述的一种光学元件的行星主动抛光方法，其方法是：由行星电机3通过软轴4带动一对带轮或齿轮，通过皮带或齿轮将转动动力传递给抛光模顶杆，顶杆通过传动销带动抛光模7在公转的同时进行自传，使抛光模7具有平转动或者行星转动，实现抛光模7作行星转动。

3、根据权利要求1所述的一种光学元件的行星主动抛光装置，其特征是：平行四连杆机构是由上连接板通过连接螺钉与上连杆连接，上连杆通过连接螺钉与转接盘链接，转接盘与下连杆连接，下连杆与下连接板通过连接螺钉连接，下连接板与传动机构连接。