[发明专利]一种可充分利用氙气的充排气方法和装置

权利要求书

1、一种氙气的充排气方法，用于以氙气为工作气体的电光源产品的充排气工序，它利用一个充排气系统先对排成一排的若干个电弧管进行抽真空和冲洗杂质气体的多次交替工作，直至电弧管内杂质气体降至工艺要求后，再由所述充排气系统向所述成排的电弧管内充入氙气，其特征在于：待这批半成品氙气灯封割后，再通过一个与所述充排气系统并联的回收系统将充排气系统内残余的氙气进行收集存贮，回收系统内存贮的氙气用于下一批电弧管的充气。

2、一种氙气充排气装置，应用了权利要求1所述的方法，它主要由一个充排气系统组成，所述充排气系统包括一个四通连接件以及分别与该四通连接件四个端口连接的三个阀门和一个电弧管排列管道，三个阀门分别连接抽真空装置、冲洗气体进口和工作气体氙气进口，所述电弧管排列管道上可同时放置多只待充气的电弧管，其特征在于：本充排气装置还有一个可收集残余氙气的回收系统，该回收系统设置在电弧管排列管道的一端，由一个回收装置和阀门组成，所述阀门设置于所述电弧管排列管道与回收装置之间。

3、如权利要求2所述氙气充排气装置，其特征在于：所述充排气系统上设置了一个压力表。

4、如权利要求2所述氙气充排气装置，其特征在于：所述回收装置是一个气缸。

5、如权利要求4所述氙气充排气装置，其特征在于：所述气缸的容积是充排气系统内腔容积的13倍或以上。

6、如权利要求2所述氙气充排气装置，其特征在于：所述回收装置是一个带有可分离冷却装置的容器。

7、如权利要求6所述氙气充排气装置，其特征在于：所述作为回收装置的容器是一个石英瓶，冷却装置是一个液氮容器，所述石英瓶放在液氮容器内。