[发明专利]一种薄膜残余应力成分的分析装置

权利要求书

1.一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于包括继电器式温度控制仪(1)、加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5)，继电器式温度控制仪(1)依次与加热片驱动电路(2)、基板夹具(3)、干涉仪(4)、计算机(5)相连接，基板夹具(3)包括第一铜片(6)、第二铜片(7)、铝片(8)、铁夹片(9)、样品固定圆孔(10)、热电阻(11)、MCH加热片(12)，第一铜片(6)背面固定有热电阻(11)和两片MCH加热片(12)，第一铜片(6)两侧设有固定凹槽，第二铜片(7)插入第一铜片(6)两侧设有的固定凹槽内，第二铜片(7)上端两侧固定有两片铁夹片(9)，在两片铁夹片(9)上夹有铝片(8)，铝片(8)上开有样品固定圆孔(10)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于所述的加热片驱动电路(2)为：第一电阻R1经第一电容C1、第二二极管D2、第二电阻R2、第三电阻R3、LED(21)接地，第二二极管D2正极经稳压管D1接地，第二二极管D2负极经第二电容C2接地，比较器正极经第六电阻R6、第五电阻R5、第一可调电阻W1、第四电阻R4、第二可调电阻W2接电源，比较器负极经第八电阻R8、第二电阻R2、第二二极管D2、第一电容C1、第一电阻R1、二极管Q1接加热片(12)，比较器的输出经U2接到加热片(12)，加热片(12)经第三二极管D3接地。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于所述的干涉仪(4)为激光器(13)发出的光束经光束扩束器(14)到达分光镜(17)，分成二束光，第一束光被反射且经过PZT传感器(15)被反射后再次经过分光镜(17)到达透镜(18)，而第二束光则透过分光镜(17)、透镜(18)到达被测样品(20)后被反射与第一束光发生干涉，干涉图样被CCD(19)采集。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于所述的基板夹具(3)外面套有高温棉隔热层。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于所述的基板夹具(3)底部设有垂直调节装置。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜残余应力成分的分析装置，其特征在于所述的垂直调节装置由两个螺钉和一个微调底座组成。