[发明专利]单晶硅制备炉石英埚增容加料装置无效
| 申请号： | 200810079251.8 | 申请日： | 2008-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101343775A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;张学强;张呈沛;何景辉;刘军波 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 055550*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 制备 石英 增容 加料 装置 | ||
【权利要求书】：
1、单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，其特征在于：结构中包括，可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器，加料器顶端固定吊架，吊架中心连接吊绳，吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤。
2、根据权利要求1所述的单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，其特征在于：所述吊架两端水平开设螺孔，加料器顶端侧壁设置与吊架的螺孔位置对应的销孔，吊架螺孔配合一螺纹销，螺纹销前端与加料器销孔配合。
3、根据权利要求2所述的单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，其特征在于所述吊架设计为十字形结构。
4、根据权利要求1、2或3所述的单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，其特征在于所述加料器设计为圆柱筒形或圆锥筒形结构。
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