[发明专利]单晶硅制备炉石英埚增容加料装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，属单晶炉配件技术领域。

背景技术

国内优质石英砂供应紧张，而石英埚是单晶硅行业的高耗产品，充分利用石英埚的空间无疑对产量会产生极大的提升，生产成本会有明显的下降，由于装满原料的石英埚在原料熔化后体积的缩小会使石英埚剩余较大空间，影响其利用率，如果装料太多，原料堆积在导流筒内，原料熔化时，容易粘附在导流筒壁影响导流筒的使用寿命，目前业内尚无安全可靠的加料装置，实现石英埚容积的充分利用。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，可在满足生产工艺的同时，最大限度的利用石英埚的容积，提高产量，降低成本。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

单晶硅制备炉石英埚增容加料装置，其结构包括，可放置在单晶炉导流筒内的筒状加料器，加料器顶端固定吊架，吊架中心连接吊绳、吊绳通过绳轮连接一重量可维持加料器直立的重锤。

本发明的进一步改进在于：吊架两端水平开设螺孔，加料器顶端侧壁设置与吊架的螺孔位置对应的销孔，吊架螺孔配合一螺纹销，螺纹销前端与加料器销孔配合；吊架设计为十字形结构；加料器设计为圆柱筒形或圆锥筒形结构。

由于采用了上述技术方案，本发明取得的技术进步是：

应用本发明产品，当原料缓慢熔化时，加料器内的料将慢慢下滑进入石英埚的硅液中、片刻即可熔完，对成晶没有任何影响，不会造成石英埚变型，不外溅硅，防止了硅液浪费及损坏石墨件，提高了石英埚的利用价值，从而节约资源，降低生产成本，加料器可反复利用，不会增加成本。

本发明提供的加料器采用石英材质，可耐高温，在温度变化大的情况下，不易发生裂纹；透明石英可以随时观察内部液体熔化情况，及时发现漏硅、跳硅等情况。

该发明的应用，平均每炉可多增加10Kg产量、成品率明显提高，且使用比较简便，容易掌握。如果将本新型产品用于拉大直径单晶时，将更加明显，首先炉子的内部空间决定了热场的大小，决定了其投料量的多少，如果用上大尺寸的加料器增加投料量，也就是说相当于62的炉子能当80炉使用。

附图说明

图1单晶硅制备炉石英埚增容加料装置结构剖视示意图。

其中：1、绳轮，2、重锤，3、吊绳，4、吊架，5、加料器，6、导流筒，7、螺纹销。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步详细说明：

图1所示，本发明结构包括，可放置在单晶炉导流筒6内的筒状加料器5，加料器5顶端设置吊架4，吊架4两端水平开设螺孔，加料器顶端侧壁设置与吊架4的螺孔位置对应的销孔，吊架螺孔配合一螺纹销7，螺纹销7前端与加料器5的销孔配合；吊架4设计为十字形结构，吊架4中心连接吊绳3、吊绳3通过绳轮1连接一重量可维持加料器5直立的重锤2。

加料器5可设计为圆柱筒形或圆锥筒形结构。

本发明产品的使用过程如下：

在单晶炉的石英埚装完料后将本发明的加料器5放入导流筒6继续向加料器5内加料，装料完成后，用吊架4将加料器5通过吊绳3连接重锤2，由重锤2牵引加料器5、可自由上下，避免引起砸埚、溅硅现象的发生；当原料缓慢熔化时，加料器5内的料将慢慢下滑，进入硅液中、片刻即可熔完，拖动吊绳3将加料器5慢慢提升至付室取出，一次高温过程，对成晶没有任何影响，化料时间只增加3-5分钟。