[发明专利]密闭正压作业机台无效
申请号: | 200810080526.X | 申请日: | 2008-02-21 |
公开(公告)号: | CN101229546A | 公开(公告)日: | 2008-07-30 |
发明(设计)人: | 谢彩惠;林立伟 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | B08B15/00 | 分类号: | B08B15/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤;张向琨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密闭 正压 作业 机台 | ||
1.一种密闭正压作业机台,具有一工件传输口,该密闭正压作业机台包括:
一供气室,容置供给该密闭正压作业机台内部的循环气流;
一风机-滤网机组,将该供气室的该循环气流传送至该密闭正压作业机台内部;
一第一气罩装置,设置于该工件传输口旁,控制该循环气流自该工件传输口散逸;以及
一回风管,回送该密闭正压作业机台内部的该循环气流至该供气室,减少自该密闭正压作业机台外部的一供给气体。
2.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该第一气罩装置在该回风管回送该循环气流前,补充气体至该密闭正压作业机台内部,以维持该密闭正压作业内部的流场平衡。
3.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一连动传输门,该连动传输门设置于该工件传输口,配合该第一气罩装置,控制该循环气流的散逸。
4.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一第二气罩装置,该第二气罩装置设置于该密闭正压作业机台所具有的一连动闸门旁,控制该循环气流自该连动闸门散逸。
5.如权利要求4所述的密闭正压作业机台,其中该第二气罩装置在该回风管回送该循环气流前,补充气体至该密闭正压作业机台内部,以维持该密闭正压作业内部的流场平衡。
6.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一分流装置,该分流装置设置于该密闭正压作业机台内部与该回风管的连结处,对该循环气流进行分流。
7.如权利要求6所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一挥发性有机化合物侦测器,该挥发性有机化合物侦测器设置于该密闭正压作业机台内部,并与该分流装置连动,控制该密闭正压作业机台内部的有机物质浓度。
8.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一温湿度调节器,该温湿度调节器设置于该回风管,控制该密闭正压作业机台内部的温度或湿度。
9.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一动力设备,该动力设备设置于该回风管,增加该循环气流的流速。
10.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该供气室设置于该密闭正压作业机台的顶部。
11.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该风机-滤网机组设置于该供气室的下侧。
12.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该回风管设置于该密闭正压作业机台的外部。
13.如权利要求1所述的密闭正压作业机台,其中该密闭正压作业机台还包括一集气室,该集气室设置于该密闭正压作业机台的底部或延伸至外部,并与回风管连结。
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