[发明专利]密闭正压作业机台

说明书

技术领域

本发明涉及一种制造基板的作业机台，尤指一种能降低厂务端(facility)气体供给量，可节能的密闭正压作业机台。

背景技术

图1为现有作业机台的示意图。作业机台10例如为光致抗蚀剂涂布机，设置于无尘室的高架地板上。无尘室为整体回风的设计环境，为保持无尘室洁净度，洁净气流自上方供给，作业机台10内部的气体均会被带往高架地板的下方，再通过回风区20回送至作业机台所在的作业区30的上方。对一般的作业机台10而言，工件(例如：基板)经由作业机台10的工件传输口102(如工件传输路径A所示)送至其内部的作业平台110。作业完成后，可经由工件传输口102送出，或者可经由连动闸门104(如工件传输路径B所示)传送至其它作业机台(图未示)。如图1所示，作业机台10具有风机-滤网机组202(Fan Filter Unit；FFU)，其用以将无尘室的洁净气流导入作业机台10的内部。

然而，由于作业机台10的内部亦有洁净度的要求，因此作业机台10的内部气压相较于外部(无尘室)多设定为相对正压，因此，在前述洁净气流的设计下，作业机台10(例如光致抗蚀剂涂布机)常会有其使用的有机溶剂、洗剂所挥发的有机物质(volatile organic compound；VOC)，逸散至作业机台10外，增加影响范围；且因整体无尘室的回风设计，使得该挥发性有机化合物(VOCs)不易排除于无尘室整体的回风外。因为欲保持作业机台10内部及无尘室的洁净度，整体回风的洁净气流量便需保持定量，若以增加现有排气设备的风量，将增加末端的处理成本，亦会增加来自厂务端的供给气体量，而势必增加厂务成本(facility cost)。再者，前述有机物质会对在作业区30工作的工程师和作业人员等造成人体的伤害，因此对有机物质逸散的控制也显得日趋重要。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种密闭正压作业机台，能减少需自密闭正压作业机台外部供给的气体，即降低厂务端气体供给量，达到节能效果。

本发明的另一目的在于提供一种密闭正压作业机台，能有效控制有机物质的逸散。

为达到本发明的前述目的，本发明的密闭正压作业机台包括供气室、风机-滤网机组、第一气罩装置以及回风管。供气室容置循环气流。风机-滤网机组向供气室的循环气流提供动力，而将循环气流传送至密闭正压作业机台内部。第一气罩装置设置于工件传输口旁，控制循环气流自工件传输口散逸。回风管用以将密闭正压作业机台内部的循环气流回流至供气室，减少自该密闭正压作业机台外部的一供给气体，并且利用风机-滤网机组具有的HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)高效率空气微粒子过滤网或ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)超低穿透空气过滤网来维持作业机台内部的洁净度，通过前述的循环，本发明不仅能减少需自厂务端供给的气体，同时亦能控制有机物质自密闭正压作业机台的逸散。

机台下方的集气室(集气设备或集气罩(hood))利用密闭正压作业机台内部本身的向下气流特性，以及风机-滤网组的动能牵引，收集密闭正压作业内部的有机气体。此后可评估密闭正压作业机台内部所期望控制的有机气体浓度，进行上述有机气体收集后的分流。第一气罩装置及第二气罩装置可于密闭作业机台需维持内部流场平衡时，作为补气开口。

本发明可于工件传输口设置连动传输门配合工件(例如基板)传输。配合第一气罩装置，无基板需传输时关闭工件传输口，欲传输基板时才打开工件传输口，如此可控制作业机台内部有机挥发物质的逸散。

本发明还可设置连动闸门，该连动闸门同样地配合基板传输，无基板需传输时关闭连动闸门，欲传输基板时才打开连动闸门，如此亦可控制作业机台内部有机挥发物质的逸散。

本发明的有益技术效果在于，本发明的密闭正压作业机台不仅能减少需要自密闭正压作业机台外部供给的气体，达到节能效果，亦能达成对有机气体逸散的有效控制，避免对无尘室洁净度或位于工作区的工作人员产生不良影响。

附图说明

图1为现有技术的示意图。

图2为本发明的密闭正压作业机台的第一实施例的示意图。

图3为本发明的密闭正压作业机台的第二实施例的示意图。

其中，附图标记说明如下：

10作业机台                20回风区

30作业区                  100密闭正压作业机台

102工件传输口             104连动闸门