[发明专利]喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置

权利要求书

1、一种喷落点测定方法，其通过由干涉仪构成的形态测定装置来对利用功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定，其特征在于，具备：

检查喷出工序，其使所述功能液滴喷头在主扫描方向相对于所述检查薄板相对移动，同时，使所述功能液滴喷头的多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出；

测定工序，其使所述形态测定装置在所述功能液滴喷头之后相对于所述检查薄板在所述主扫描方向同速相对移动，同时对多个所述喷落点分别进行形状测定。

2、如权利要求1所述的喷落点测定方法，其特征在于，还具备根据所述形状测定的结果求出所述各喷落点的体积的体积测定工序。

3、如权利要求1或者2所述的喷落点测定方法，其特征在于，还具备根据所述形状测定的结果求出所述各喷落点与设计值的位置偏移量的位置测定工序。

4、一种喷落点测定装置，其通过由干涉仪构成的形态测定装置来对利用功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定，其特征在于，具备：

头移动装置，其使所述功能液滴喷头在主扫描方向相对于所述检查薄板相对移动；

所述形态测定装置，其对所述喷落点进行形状测定；

测定装置移动装置，其使所述形态测定装置在主扫描方向及副扫描方向相对于所述检查薄板相对移动；

控制装置，其对所述功能液滴喷头、所述头移动装置、所述形态测定装置及所述测定装置移动装置进行控制，

所述控制装置使所述功能液滴喷头在主扫描方向相对移动，同时使所述功能液滴喷头的多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出，并且，

通过使所述形态测定装置进行与所述功能液滴喷头同速的向主扫描方向的相对移动和向副扫描方向的相对移动，使所述形态测定装置在所述功能液滴喷头之后进行移动，同时对多个所述喷落点分别进行形状测定。

5、如权利要求4所述的喷落点测定装置，其特征在于，所述形态测定装置根据所述形状测定的结果求出所述各喷落点的体积。

6、如权利要求4或者5所述的喷落点测定装置，其特征在于，所述形态测定装置根据所述形状测定的结果求出所述各喷落点与设计值的位置偏移量。

7、一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

权利要求4～6中任一项所述的喷落点测定装置；

头组件，其在副滑架上搭载有多个所述功能液滴喷头；

描绘装置，其使所述头组件相对于工件相对移动，同时从所述多个功能液滴喷头喷出功能液滴而进行描绘。

8、如权利要求7所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述头组件搭载有导入R色功能液的功能液滴喷头、导入G色功能液的功能液滴喷头及导入B色功能液的功能液滴喷头。

9、一种电光装置的制造方法，其特征在于，使用权利要求7或者8所述的液滴喷出装置，在所述工件上通过功能液滴形成成膜部。

10、一种电光装置，其特征在于，使用权利要求7或者8所述的液滴喷出装置，在所述工件上通过功能液滴形成成膜部。

11、一种电子仪器，其特征在于，搭载有利用权利要求9所述的电光装置的制造方法制造出的电光装置或者权利要求10所述的电光装置。