[发明专利]喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过形态测定装置对利用功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定的喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器。

背景技术

目前，作为这种喷落点测定方法，已知的是，从功能液滴喷头(液滴喷头)的所有喷嘴对测定用的喷出对象物喷出液滴，使形态测定装置沿XY方向移动，一个一个地测定喷落在工件上的各喷嘴的喷落点(参照专利文献1)。该情况下，形态测定装置利用从上方面向喷落点的CCD摄像机及激光式测距仪来获取数据，根据该数据计算测定喷落点的体积(参照特开2005-121401号公报)。

但是，在这样的喷落点测定方法中，由于是在完成所有的检查喷出之后来测定所有的喷落点，因而在各喷落点，从喷落至测定的时间不是一定的，会产生差。这样，若在从喷落至测定的时间上产生差，则因各喷落点的溶剂蒸发等原因而使喷落点的形状(体积)发生变化，造成测定结果不正确，不能进行喷落点相对于各喷嘴的相对测定。因此，存在的问题在于不能进行正确的测定。例如，有两个正常的喷嘴，在使其同时喷出的情况下，测定的顺序靠前的一方的喷落点，由于从喷落至测定的时间短，因而蒸发量少，测定得到的体积大。而测定顺序靠后的另一方的喷落点，由于从喷落至测定的时间长，因而蒸发量多，测定得到的体积小。因此，正常的喷嘴的喷落点的基准值不正确，或者虽然是正常的喷嘴，但是由于偏离基准值，从而不能进行正确的测定。

发明内容

本发明的课题在于，提供一种可正确且高效地进行喷落点的测定的喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器。

本发明提供一种喷落点测定方法，其通过由干涉仪构成的形态测定装置来对利用功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定，其特征在于，具备：检查喷出工序，其使功能液滴喷头在主扫描方向相对于检查薄板相对移动，同时，使功能液滴喷头的多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出；测定工序，其使形态测定装置在功能液滴喷头之后相对于检查薄板移动且在主扫描方向同速相对移动，同时对多个喷落点分别进行形状测定。

本发明提供一种喷落点测定装置，其通过由干涉仪构成的形态测定装置来对利用功能液滴喷头的检查喷出而喷落在检查薄板上的功能液滴即喷落点进行形状测定，其特征在于，具备：头移动装置，其使功能液滴喷头在主扫描方向相对于检查薄板相对移动；形态测定装置，其对喷落点进行形状测定；测定装置移动装置，其使形态测定装置在主扫描方向及副扫描方向相对于检查薄板相对移动；控制装置，其对功能液滴喷头、头移动装置、形态测定装置及测定装置移动装置进行控制，控制装置使功能液滴喷头在主扫描方向相对移动，同时使功能液滴喷头的多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出，并且，通过与功能液滴喷头同速的向主扫描方向的相对移动和向副扫描方向的相对移动，使形态测定装置在功能液滴喷头之后进行移动，同时对多个喷落点分别进行形状测定。

根据这些构成，可使从各喷嘴的喷出至测定的时间相同，从而在各喷落点可使从喷落至测定的时间相同。因此，不会因蒸发等影响而产生喷落点的差异，而是可在各喷嘴的喷落点进行相对的测定。所以，可进行正确的测定。另外，使功能液滴喷头相对于检查薄板相对移动，同时使多个喷嘴一个个隔开时间间隔进行检查喷出，并且使形态测定装置在功能液滴喷嘴之后同速移动，同时进行测定，由此，可在短时间内高效地进行各喷落点的喷落测定。另外，喷落点既可以是一次发射，也可以是数次发射。

优选在所述的喷落点测定方法中还具备根据形状测定的结果求出各喷落点的体积的体积测定工序。

优选在所述的喷落点测定装置中，形态测定装置根据形状测定的结果求出各喷落点的体积。

根据这些构成，可利用正确的形状测定的结果，求出各喷落点的正确体积。

优选在所述的喷落点测定方法中，还具备根据形状测定的结果求出各喷落点与设计值的位置偏移量的位置测定工序。

优选在所述喷落点测定装置中，形态测定装置根据形态测定的结果求出各喷落点与设计值的位置偏移量。

根据这些构成，在各喷落点的正确的形状测定基础上，还可利用该形态测定装置求出各喷落点的喷落位置的位置偏移量。由此，也可测定功能液滴喷头的飞行弯曲等。当然，也可检测喷出不良。

本发明提供一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：所述的喷落点测定装置；头组件，其在副滑架上搭载有多个功能液滴喷头；描绘装置，其使头组件相对于工件相对移动，同时从多个功能液滴喷头喷出功能液滴而进行描绘。