[发明专利]电化学元件及其电极的制造方法、锂化处理方法和锂化处理装置

权利要求书

1.一种电化学元件用电极的制造方法，其是能够以电化学的方式嵌入和脱嵌锂离子的电化学元件用电极的制造方法，该制造方法包括：

形成所述电极的活性物质层的步骤，以及

通过限制锂蒸气的移动路线，使所述锂蒸气从锂蒸镀喷嘴流过，从而在所述电极上附着锂的步骤；

在所述锂蒸镀喷嘴内，流入选自稀有气体、氢气、以及它们的混合气体之中的至少1种气体，以限制所述锂蒸气的移动量，由此限制所述锂蒸气的移动路线。

2.根据权利要求1所述的电化学元件用电极的制造方法，其特征在于：在时间流逝的同时逐渐减少所述气体的流量。

3.根据权利要求1所述的电化学元件用电极的制造方法，其特征在于：使所述气体流入所述锂蒸气流的中央部。

4.根据权利要求1所述的电化学元件用电极的制造方法，其特征在于：对包含锂的蒸发源和所述电极的气氛进行减压，并加热所述锂的蒸发源，由此生成所述锂蒸气。

5.一种电化学元件用电极的锂化处理方法，其是能够以电化学的方式嵌入和脱嵌锂离子的电化学元件用电极的锂化处理方法，该处理方法包括：

在锂蒸镀喷嘴内，流入选自稀有气体、氢气、以及它们的混合气体之中的至少1种气体，以限制所述锂蒸气的移动量，由此限制锂蒸气的移动路线的步骤，以及

用所述锂蒸气处理所述电极，由此在所述电极上附着锂的步骤。

6.根据权利要求5所述的电化学元件用电极的锂化处理方法，其特征在于：在时间流逝的同时逐渐减少所述气体的流量。

7.根据权利要求5所述的电化学元件用电极的锂化处理方法，其特征在于：使所述气体流入所述锂蒸气流的中央部。

8.根据权利要求5所述的电化学元件用电极的锂化处理方法，其特征在于：对包含锂的蒸发源和所述电极的气氛进行减压，并加热所述锂的蒸发源，由此生成所述锂蒸气。

9.一种电化学元件，其包括：

第1电极，其能够以电化学的方式嵌入和脱嵌锂离子，而且附着有锂，其中锂的附着是通过在锂蒸镀喷嘴内，流入选自稀有气体、氢气、以及它们的混合气体之中的至少1种气体，由此限制锂蒸气的移动路线，并采用所述锂蒸气对所述电极进行处理而进行的；

第2电极，其能够以电化学的方式嵌入和脱嵌锂离子；以及

电解质，其介于所述第1电极和所述第2电极之间。

10.一种锂化处理装置，其是能够以电化学的方式嵌入和脱嵌锂离子的电化学元件用电极的锂化处理装置，其包括：

锂蒸镀喷嘴，其限制锂蒸气的移动路线而使所述锂蒸气流出，以便在所述电极表面上附着锂；以及

容器，收纳着所述电极和所述锂蒸镀喷嘴；其中，

所述锂化处理装置还进一步包括气体喷嘴，其在锂蒸镀喷嘴内，流入选自稀有气体、氢气、以及它们的混合气体之中的至少1种气体。

11.根据权利要求10所述的锂化处理装置，其特征在于：还具有在时间流逝的同时逐渐减少所述气体的流量的气量控制部。

12.根据权利要求10所述的锂化处理装置，其特征在于：将所述气体喷嘴设立在所述锂蒸镀喷嘴内，以便使所述气体流入所述锂蒸气流的中央部。

13.根据权利要求10所述的锂化处理装置，其特征在于，还具有：

加热部，其设立在所述容器内，加热锂的蒸发源而生成所述锂蒸气；以及

真空泵，用于对所述容器内进行减压。