[发明专利]测量设备及方法

权利要求书

1、一种测量治具，该测量治具包括至少一个承载单元，以供待测工件容置，该承载单元包括：

承载室，该承载室用以承载所述待测工件，并具有承座面，该承座面用于接触所述待测工件的底面；以及

基准面，该基准面由所述承载室向外延伸，该基准面及所述待测工件的顶面朝向相同的方向，该基准面与所述承座面间具有一预定高度差，且所述待测工件的顶面与该基准面间形成有一可测量高度差，由此计算所述待测工件的厚度为该预定高度差及该可测量高度差之和。

2、根据权利要求1所述的测量治具，其中所述承载室还具有两个侧边，该两个侧边与所述承座面连接，所述承载单元还包括两个基准脚，一个基准脚固定于所述承载室的所述两个侧边中的一个，另一个基准脚固定于所述两个侧边中的另一个，每一基准脚具有顶面，且所述基准面为这些基准脚的顶面上任三点所定义。

3、根据权利要求1所述的测量治具，其中所述预定高度差为零。

4、根据权利要求1所述的测量治具，其中所述基准面覆盖所述待测工件的重心。

5、根据权利要求1所述的测量治具，其中所述承载室还具有两个侧边，该两个侧边与所述承座面连接，所述承载单元还包括六个基准脚，三个基准脚固定于所述两个侧边中的一个，另三个基准脚固定于所述两个侧边中的另一个，所述基准面为这些基准脚的顶面上任六点所定义，所述基准面覆盖所述待测工件的重心。

6、根据权利要求5所述的测量治具，其中位于同一个侧边上的这些基准脚彼此之间的间距须大于1mm。

7、根据权利要求2所述的测量治具，其中所述承载室与所述基准脚一体成型制造。

8、根据权利要求1所述的测量治具，其中该测量治具包括多个承载单元，并以阵列式排列。

9、一种测量设备，该测量设备用以测量至少一个待测工件的厚度，该测量设备包括：

测量治具，该测量治具包括至少一个承载单元，以供待测工件容置，该承载单元包括：

承载室，该承载室用以承载所述待测工件，并具有承座面，该承座面用于接触所述待测工件的底面；以及

基准面，该基准面由所述承载室向外延伸，该基准面及所述待测工件的顶面朝向相同的方向，该基准面与所述承座面间具有一预定高度差，且所述待测工件的顶面与该基准面间形成有一可测量高度差；以及

扫描装置，该扫描装置用以扫描所述待测工件的顶面及所述基准面，以获得所述可测量高度差，由此计算所述待测工件的厚度为所述预定高度差及所述测量高度差之和。

10、根据权利要求9所述的测量设备，其中所述扫描装置包括发射器及接收器，所述发射器所发射的讯号选自激光束、光学光束、红外线及超音波所构成的群组。

11、根据权利要求9所述的测量设备，其中所述承载室还具有两个侧边，所述两个侧边与所述承座面连接，所述承载单元还包括二个基准脚，一个基准脚固定于所述承载室的两个侧边中的一个，另一个基准脚固定于所述两个侧边中的另一个，每一个基准脚具有顶面，且所述基准面为这些基准脚的顶面上任三点所定义。

12、根据权利要求11所述的测量设备，其中所述测量治具的承载单元的基准脚为L型剖面，且该L型剖面的第一及第二内表面之间的夹角为90度加上一大于20度的导角。

13、根据权利要求9所述的测量设备，其中所述预定高度差为零。

14、根据权利要求9所述的测量设备，其中所述基准面覆盖所述待测工件的重心。

15、根据权利要求9所述的测量设备，其中所述承载室还具有两个侧边，该两个侧边与所述承座面连接，所述承载单元还包括六个基准脚，三个基准脚固定于所述两个侧边中的一个，另三个基准脚固定于所述两个侧边中的另一个，所述基准面为这些基准脚的顶面上任六点所定义，所述基准面覆盖所述待测工件的重心。

16、根据权利要求11所述的测量设备，其中这些基准脚的高度至少大于1mm。

17、根据权利要求11所述的测量设备，其中所述承载室与所述基准脚一体成型制造。