[发明专利]X射线检查方法以及X射线检查装置

权利要求书

1.一种X射线检查方法，利用具有受光部的X射线检查装置，上述受光部通过照射X射线，利用多个检测面检测透过对象物的X射线，其特征在于，包括：

指定上述对象物的检查部分的步骤；

将X射线源的X射线焦点位置移动到放射上述X射线的各个起点位置，由此产生上述X射线的步骤，其中，针对上述多个检测面，以使上述X射线透过上述检查部分并入射到各上述检测面的方式，设定放射上述X射线的各个起点位置；

在各上述检测面上检测透过上述检查部分的上述X射线的強度分布的步骤；

基于所检测的上述強度分布的数据，重建上述检查部分的图像数据的步骤。

2.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，产生上述X射线的步骤包括：

分别指定用于检测上述X射线的多个检测面的步骤；

以使上述检查部分位于从上述多个检测面的各个面朝向所对应的上述起点位置的直线上的方式，在靶材面上设定各个上述起点位置的步骤，其中，该靶材面为上述X射线源的连续面；

变更向各上述起点位置照射上述X射线源的电子束的照射位置，从而移动上述X射线焦点位置，由此产生上述X射线的步骤。

3.如权利要求2所述的X射线检查方法，其特征在于，设定各个上述起点位置的步骤包括：

将连接上述检测面与上述检查部分的直线和上述靶材面之间的交点，设定为上述起点位置的步骤。

4.如权利要求2所述的X射线检查方法，其特征在于，产生上述X射线的步骤包括：

使上述电子束偏转，从而变更上述照射位置的步骤。

5.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，指定上述检查部分的步骤包括：

将这次要检查的检查部分，指定于从检查完毕的检查部分沿着从上述靶材面朝向上述对象物的方向移动的位置上的步骤。

6.一种X射线检查装置，具有受光部，上述受光部通过照射X射线，利用多个检测面检测透过对象物的X射线，其特征在于，具有：

检测装置，其具有上述多个检测面；

输出控制装置，其用于控制上述X射线的输出处理，其中，

上述输出控制装置具有：

指定装置，其指定上述对象物的检查部分；

起点设定装置，其针对上述多个检测面，以使上述X射线透过上述对象物的检查部分并入射到各上述检测面的方式，设定放射上述X射线的各个起点位置，而且

上述X射线检查装置还具有：

X射线输出装置，其将X射线源的X射线焦点位置移动到各上述起点位置，由此产生上述X射线；

重建装置，其基于由多个上述检测面所检测出的透过上述检查部分的X射线的強度分布的数据，重建上述检查部分的图像数据。

7.如权利要求6所述的X射线检查装置，其特征在于，上述X射线输出装置具有：

使上述X射线源的电子束偏转，由此变更照射上述电子束的照射位置，从而使上述X射线焦点位置移动的装置。

8.如权利要求6所述的X射线检查装置，其特征在于，上述检测装置具有：

旋转台，其在以规定的轴为中心的圆周上配置有上述多个检测面；

旋转装置，其以上述轴为中心，使上述旋转台旋转。

9.如权利要求6所述的X射线检查装置，其特征在于，上述多个检测面配置在以与上述对象物垂直的轴为中心的圆周上。

10.如权利要求6所述的X射线检查装置，其特征在于，上述多个检测面配置在以与上述对象物垂直的轴为中心且半径不同的多个圆周上。

11.如权利要求9或10所述的X射线检查装置，其特征在于，上述检测装置具有使各上述检测面在以上述垂直的轴为中心的圆的半径方向上自由移动的装置。

12.如权利要求6所述的X射线检查装置，其特征在于，上述检测装置具有检测面控制装置，该检测面控制装置用于控制与上述对象物垂直的轴和上述检测面所成的倾斜角。