[发明专利]喷头模组及采用该喷头模组形成薄膜图案层的方法

权利要求书

1.一种喷头模组，用于在基板上形成薄膜图案层，其包括：分别具有若 干喷嘴的第一喷头、第二喷头及第三喷头，用于固定该第一喷头、第二喷头 及第三喷头的喷头座，该第一喷头、第二喷头及第三喷头分别具有线性排列 的喷嘴，其特征在于，该第二喷头固定于该喷头座的底部，该第一喷头及该 第三喷头的一端枢固于该喷头座的底部，该喷头模组进一步包括平行调整机 构及喷头位置调整机构，该平行调整机构驱动该第一喷头及该第三喷头的活 动端，使其远离或靠近第二喷头，该喷头位置调整机构用于驱动该第一喷头 及该第三喷头沿喷嘴的排列方向进行移动。

2.如权利要求1所述的喷头模组，其特征在于：进一步包括第一转接模块、 第二转接模块及第三转接模块，该喷头座的底面具有若干缝隙，该第一转接 模块、该第二转接模块及该第三转接模块设置于该若干缝隙中，该第一喷头、 第二喷头及第三喷头设置于相应的该第一转接模块、该第二转接模块及该第 三转接模块中。

3.如权利要求2所述的喷头模组，其特征在于：该第二转接模块固定于该 喷头座的底部。

4.如权利要求1所述的喷头模组，其特征在于：该平行调整机构包括至少 一压电马达及至少一电阻传感器，该电阻传感器与该压电马达形成闭合回 路，该电阻传感器用于感测该第一喷头与该第二喷头，及该第三喷头与该第 二喷头之间的距离，该压电马达用于驱动该第一喷头及该第三喷头。

5.如权利要求4所述的喷头模组，其特征在于：该第一喷头的活动端与一 压电马达相连接，该第三喷头的活动端与另一压电马达相连接。

6.如权利要求4所述的喷头模组，其特征在于：该电阻传感器设置于相邻 的喷头之间。

7.如权利要求2所述的喷头模组，其特征在于：该喷头位置调整机构包括 至少一步进马达及至少一光学译码器，该步进马达与该光学译码器形成闭合 回路，该光学译码器用于感测该第一喷头或该第三喷头于其喷嘴排列方向上 的位置，该步进马达用于驱动该第一喷头或该第三喷头沿喷嘴的排列方向移 动。

8.如权利要求7所述的喷头模组，其特征在于：该第一转接模块的一端与 一步进马达相连接，该第三转接模块的一端与另一步进马达相连接。

9.如权利要求7所述的喷头模组，其特征在于：该光学译码器设置于相邻 的喷头之间。

10.一种采用如权利要求1所述的喷头模组在基板上形成薄膜图案层的 方法，该方法包括以下步骤：

将喷头模组装载于喷墨装置上；

利用平行调整机构调整各喷头之间的平行度；

旋转喷头模组；

利用喷头位置调整机构沿喷嘴排列方向移动第一喷头或第三喷头使其 喷嘴于某方向上的间距与基板上的图案单元于同一方向上的间距相匹配；

将墨水滴入基板上的图案单元中；及

固化墨水形成彩色滤光片。

11.如权利要求10所述的形成薄膜图案层的方法，其特征在于：该平行调 整机构包括至少一压电马达及至少一电阻传感器，该电阻传感器与该压电马 达形成闭合回路，该电阻传感器用于感测该第一喷头与该第二喷头，及该第 三喷头与该第二喷头之间的距离，该压电马达用于驱动该第一喷头及该第三 喷头。

12.如权利要求11所述的形成薄膜图案层的方法，其特征在于：该第一喷 头的活动端与一压电马达相连接，该第三喷头的活动端与另一压电马达相连 接。

13.如权利要求11所述的形成薄膜图案层的方法，其特征在于：该电阻传 感器设置于相邻的喷头之间。

14.如权利要求10所述的形成薄膜图案层的方法，其特征在于：该喷头位 置调整机构包括至少一步进马达及至少一光学译码器，该步进马达与该光学 译码器形成闭合回路，该光学译码器用于感测该第一喷头或该第三喷头于其 喷嘴排列方向上的位置，该步进马达用于驱动该第一喷头或该第三喷头沿喷 嘴的排列方向移动。