[发明专利]用于评定晶片边缘区域的缺陷的设备和方法及其使用

权利要求书

1.一种用于评定晶片(6)的边缘区域(6a，6b，6c)中的缺陷的设备，其中，第一照相机(25)被布置成与所述晶片(6)的上边缘区域(6a)相对，第二照相机(26)被布置成与所述晶片(6)的前表面(6b)相对，第三照相机(27)被布置成与所述晶片(6)的下边缘区域(6c)相对，其中，每个照相机(25，26，27)具有用于获得图像的视场，其特征在于，设计至少一个照明装置(50，80)使得所述第一、第二和第三照相机(25，26，27)被布置在明视场配置中，以及所述晶片(6)可在各个用于获得所述缺陷的所述图像的照相机(25，26，27)的所述视场中定位。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一、第二和/或第三照相机(25，26，27)以限定的视场大小获得所述晶片(6)的所述边缘区域(6a，6b，6c)中的所述缺陷的图像，

可以根据所述缺陷在所述晶片(6)的所述上边缘区域(6a)中、或在所述晶片(6)的所述下边缘区域(6c)中、或在所述晶片(6)的所述前表面(6b)上的位置，来进行所述图像的获取。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，至少所述第一照相机(25)和所述第三照相机(27)被布置在可相对于所述晶片(6)沿径向移动的支架(23)上，

所述支架(23)可相对于所述晶片(6)的边缘定位，使得所述第一照相机(25)与所述晶片(6)的所述上边缘区域(6a)相对，所述第三照相机(27)与所述晶片(6)的所述下边缘区域(6c)相对，所述第二照相机(26)相对于所述晶片(6)的所述前表面(6b)是固定的。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所有三个照相机(25，26，27)布置在可相对于所述晶片(6)沿径向移动的支架(23)上，

所述支架(23)可相对于所述晶片(6)的边缘定位，使得所述第一照相机(25)与所述晶片(6)的所述上边缘区域(6a)相对，所述第二照相机(26)与所述晶片(6)的所述前表面(6b)相对，所述第三照相机(27)与所述晶片(6)的所述下边缘区域(6c)相对。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的设备，其特征在于，所述照明装置(80)包括帽罩(81)，所述照相机(25，26，27)被安装到该帽罩(81)，

在所述帽罩(81)上还布置有几个照明元件(84)，以照明所述晶片(6)。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述照明元件(84)是与所述帽罩(81)相关联的白光发光二极管。

7.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述照明元件(84)由发出不同波长的光的几个发光二极管形成，从而可以混合任何颜色的光。

8.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述帽罩(81)呈具有凹口的圆筒形，该圆筒形围绕所述晶片(6)的边缘。

9.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述三个照相机(25，26，27)被布置在一个平面(97)中。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述照相机(25，26，27)所在的所述平面(97)相对于布置所述发光二极管的平面(96)成一定角度地倾斜，从而具有明视场配置。