[发明专利]用于评定晶片边缘区域的缺陷的设备和方法及其使用

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的设备。特别地，用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的设备包括被布置成与晶片的上表面的边缘区域相对的第一照相机。第二照相机被布置成与晶片的前表面相对。第三照相机被布置成与在晶片的下表面上的边缘区域相对。每个照相机具有用于获得缺陷图像的视场。

本发明还涉及一种用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的方法。对于用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的该方法，利用与晶片的上边缘相对的第一照相机、与晶片的前表面相对的第二照相机和与晶片的下边缘区域相对的第三照相机对该区域中的缺陷进行复查(review)。

本发明还涉及该设备在晶片用检查系统中的使用。该晶片用检查系统包括至少一个微观检查单元、输送装置和对准装置。还设置至少一个显示器，在该显示器上可以将获得的和/或储存的缺陷图像显示给用户。

背景技术

美国专利申请2005/0013474公开了一种也利用三个照相机检查或检验晶片的边缘区域的设备。对于该晶片边缘的检查，转动晶片，使之经过照相机多于两次。还设置用于晶片照明的明视场配置。然而，这些照相机不布置在公共的支架上，还有，为了使晶片边缘相对于照相机更好地定位，不打算使照相机靠近晶片边缘。此外，没有任何关于由这里公开的设备可以直接靠近单个缺陷、从而通过这些照相机可以获得这些缺陷的图像的启示。

美国专利申请2003/0169916公开了一种设备，该设备使用三个照相机来分别获得晶片边缘的前表面的图像和晶片边缘处两个坡口(bevel)的图像。照相机布置成：第一照相机与晶片边缘的上坡口相对，第二照相机与晶片边缘的前表面相对，第三照相机与晶片边缘的下坡口相对。照相机的取向为均以直角面对各自的相关表面。然而，该申请没有公开照相机布置在可以在相对于晶片边缘垂直的方向上移动、以将照相机定位在适于获取图像的位置的公共支架上。此外，第一照相机和第三照相机既没有设置成分别拍摄晶片边缘的上表面和下表面的图像，也没有设置成记录该处的缺陷和将缺陷显示给用户。

发明内容

因而本发明的目的是提供一种允许以简单的方式检查晶片边缘的上表面、前表面和下表面上的缺陷的设备。

通过具有权利要求1的特征的设备来实现该目的。

本发明的另一个目的是提出一种可以获得缺陷图像的方法，其中，这些缺陷位于晶片的边缘区域。该创造性的方法应能允许将被选择的缺陷显示给用户检查。

通过具有权利要求10的特征的方法来实现该目的。

本发明的另一个目的是提出在晶片检查系统中使用该用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的设备。

该使用具有以下优点：提供三个照相机，将对准装置与具有三个照相机的用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的设备相关联。第一照相机被布置成与晶片的上表面上的边缘区域相对。第二照相机被布置成与晶片的前表面相对。第三照相机被布置成与在晶片的下表面上的边缘区域相对。

用于从视觉上评定晶片的边缘区域中的缺陷的设备特别具有优势是因为：三个照相机中的至少两个被设计成可沿朝着晶片边缘的方向移动。因而可以实现照相机关于晶片边缘的上表面和晶片边缘的下表面的最佳定位。也可以将与晶片的前表面相对的照相机与其它两个照相机一起布置在公共支架上，该公共支架被设计成可在相对于晶片边缘垂直的方向上移动。还设置照明设备，该照明设备被布置成使得与照相机一起得到明视场配置。第一、第二和/或第三照相机以规定的视场大小获得晶片的边缘区域中的缺陷的图像。晶片的边缘区域中的缺陷的位置坐标已知，从而晶片根据这些坐标移动到相对于照相机的位置，由此，根据缺陷的位置，获得在晶片边缘的上表面上、或在晶片边缘的下表面上、或在晶片边缘的前表面上的缺陷的图像。

在本发明的优选实施例中，第一照相机和第三照相机相对于晶片边缘成放射状地布置在支架上。支架可相对于晶片的边缘定位，使得第一照相机与晶片边缘的上表面相对，第三照相机与晶片边缘的下表面相对。第二照相机相对于晶片的前表面是固定的。

在另一个实施例中，所有三个照相机被布置在可以在相对于晶片边缘垂直的方向上移动的支架上。