[发明专利]基板载台的传送装置无效
| 申请号： | 200810086271.8 | 申请日： | 2008-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101545100A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板载台 传送 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板载台的传送机构，其是用以传送可承载多组基板的基板载台，其特征在于，该基板载台的传送机构包含有：
一基座，用以承载该基板载台；
一传送部，设于该基座上，使该基板载台相对于该基座执行线性移动，该传送部上设有一限位件，该限位件稳固该基板载台；
一动力装置，结合于该传送部，该动力装置使该传送部线性移动该基板载台。
2.依据权利要求1所述的基板载台的传送装置，其特征在于：该传送部包含有多个滚轮组及多个滚轮轴，所述滚轮组通过多个相对应的滚轮轴设于该基座，且所述滚轮轴呈平行排列，该限位件设于该滚轮轴上。
3.依据权利要求1所述的基板载台的传送装置，其特征在于：该动力装置为一驱动马达。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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