[发明专利]基板载台的传送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种承载装置，特别是指一种基板载台的传送装置。

背景技术

太阳能基板(Photovoltaic panels)的半导体装置的制程中通常需要利用到化学气相沉积法。一般而言，其作用机作为，通过加热电子到具有足够与所供应的处理气体维持离子化碰撞的能量，此等加热的电子将具有足够维持分离碰撞的能量，并于一预定条件下(例如：处理室压力、气体流量等等)的与特定的化学气体分子碰撞，以产生基板的沉积处理。其制程是首先于一真空密闭空间中设置一基板载台，该基板载台上设有一电极板，于该电极板上置一玻璃基板，再将该电极板加热，然后通入欲沉积的化学气体分子，以产生气相沉积，再通过一基板载台传送装置将该基板载台输送至另一真空密闭空间以进行第二次的气相沉积，其后皆同。

而上述的基板载台是只承载单一基板，因而相对的基板载台传送装置并无针对多片式的基板载台设计，所以若是要传送多片式的基板载台，现有的基板载台的传送装置，确有其设计结构上的不足，以待改进。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种基板载台的传送装置，其可以方便基板载台的传送。

缘是，为了达成前述目的，依据本发明所提供的一种基板载台的传送装置，包含有：一基座、一传送部以及一动力装置；该基座用来承载该基板载台；该传送部，设于该基座上，使该基板载台相对于该基座执行线性移动，该传送部上设有一限位件，该限位件稳固该基板载台；该动力装置，是结合于该传送部，可使该传送部运转。

通过此，本发明透过上述结构上的设计，可方便基板载台的传送，且可使基板载台于传送时不会因脱轨或其它因素而导致位置偏差。

附图说明

图1是本发明一较佳实施例的立体示意图，以及；

图2是本发明一较佳实施例的使用状态图。

【主要组件符号说明】

基板载台的传送装置10   基座11   传送部12

动力装置13             限位件14滚轮组15

滚轮轴16               卡合部17基板18

基板载台19             壳体21

具体实施方式

为了详细说明本发明的构造及特点所在，兹举以下的一较佳实施例并配合图式说明如后，其中：

请参阅图1至图2，本发明一较佳实施例所提供的一种基板载台的传送装置10，其是用以传送可承载多组基板18的基板载台19，其中该基板载台的传送机构10主要由：一基座11、一传送部12以及一动力装置13所组成，其中：该传送部12，是设于该基座11上，使该基板载台19可相对于该基座11执行线性移动，该传送部12上设有一限位件14，该限位件14可使该基板载台19稳固的执行线性移动，且于传送部12上的位置不致有所偏差；该动力装置13，是结合于该传送部12，使该传送部12运转并可线性移动该基板载台19，该动力装置13可为一驱动马达，用以驱动该传送部12。其中：该传送部12包含有多个滚轮组15及多个滚轮轴16，所述滚轮组15通过多个相对应的滚轮轴16设于该基座11，且所述滚轮轴16是呈平行排列，该限位件14是设于该滚轮轴16上。

再请参阅图2，本发明一较佳实施例所提供的一种基板载台的传送装置10的实施示意图，其中该基板载台的传送装置10是固设于一壳体21中，该基板载台19可通过该基板载台的传送装置10输送至该壳体21内，其中该基板载台19底面设有一卡合部17，该卡合部17是可相对于卡合于该限位件14，使该基板载台19稳固的进入该壳体21内，而不致有脱轨或位置偏差的情况，该动力装置13是可使该传送部12运作，使该基板载台19接触至该传送部12后，即可依造制程及预先设定好的程序于该传送部12上前进。

由上可知，本发明所可达成的功效在于：通过本发明的设计可以方便基板载台的传送，并可使基板载台于传送时不会因脱轨或其它因素而导致位置偏差，且可以使基板载台依造制程及预先设定好的程序传送。

因此，本发明可解决现有技术在使用上与结构上的困扰与不便，依法提出专利申请。

本发明的上述各构件仅是用来说明，并非用以限制本案的申请专利范围，其它的等效构件替换，亦应为本案的范围所涵盖。