[发明专利]制造喷嘴板的方法

权利要求书

1.一种制造喷嘴板的方法，该喷嘴板在其上具有用于喷射液体的喷嘴孔，该方法包括：

用于在待成为喷嘴板的板上形成该喷嘴孔的步骤，喷嘴孔在厚度方向上贯穿该板；

第一可光致固化树脂注射步骤，该第一可光致固化树脂注射步骤用于(i)用可光致固化树脂涂布所述板的第一表面，在该第一表面上形成有用作喷嘴孔的喷射开口的第一开口；和(ii)将可光致固化树脂注射到喷嘴孔内连续地导向该第一开口的区域中；

用于在从设有喷嘴孔的第二开口的第二表面到第一表面的方向上对所述板施加光的第一固化步骤，以便形成第一固化树脂部，该第一固化树脂部包括柱状部和环形部，该柱状部是在沿着从该第二表面到该第一表面的方向与第一开口重叠的区域内的可光致固化树脂的固化部分，而该环形部是围绕柱状部的位于喷嘴孔外的部分的可光致固化树脂的固化部分；

第一未固化树脂去除步骤，该第一未固化树脂去除步骤在第一固化步骤之后执行，用于去除第一表面上的可光致固化树脂的未固化部分；

基膜形成步骤，该基膜形成步骤在第一未固化树脂去除步骤之后执行，用于在第一表面上形成基膜，其形成方式使得该基膜接触并围绕该第一固化树脂部的环形部；

固化树脂去除步骤，该固化树脂去除步骤在基膜形成步骤之后执行，用于去除第一固化树脂部；和

抗水膜形成步骤，该抗水膜形成步骤在固化树脂去除步骤之后执行，用于用抗水膜涂布基膜的表面和所述板的第一表面的从所述基膜暴露的部分。

2.如权利要求1所述的方法，其中在所述抗水膜形成步骤中通过蒸汽沉积形成所述抗水膜。

3.如权利要求1所述的方法，其中：

所述抗水膜形成步骤包括：(i)第二可光致固化树脂注射步骤，该第二可光致固化树脂注射步骤用于用可光致固化树脂涂布从所述基膜暴露的所述第一表面，并将所述可光致固化树脂注射到所述喷嘴孔内连续地导向所述第一开口的区域中；(ii)第二固化步骤，该第二固化步骤用于在从所述第二表面到所述第一表面的方向上对所述板施加光，以便形成柱状第二固化树脂部，该柱状第二固化树脂部是在沿着从所述第二表面到所述第一表面的方向与所述第一开口重叠的范围内的可光致固化树脂的固化部分；和(iii)第二未固化树脂去除步骤，该第二未固化树脂去除步骤在所述第二固化步骤之后执行，用于去除所述第一表面上的可光致固化树脂的未固化部分；并且

使用该第二固化树脂部作为掩模在所述基膜和所述板的从所述基膜暴露的所述第一表面上形成所述抗水膜。