[发明专利]制造喷嘴板的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种制造用于喷液头例如喷墨头的喷嘴板的方法。

背景技术

在上面具有用于喷射液滴的喷嘴的喷嘴板的喷射表面往往设有抗水膜。该抗水膜用于抑制液滴喷射量的变化，并用于抑制液滴飞行方向的弯曲。日本待审专利公开No.355957/2002(特开2002-355957)公开了具有用作喷嘴板的孔板的喷墨头，该喷嘴板的喷射表面在其上具有第一抗墨膜和比该第一抗墨膜厚的第二抗墨膜。第一抗墨膜形成为离喷嘴开口比第二抗墨膜离喷嘴开口近。也就是，分别具有不同厚度的两个抗墨膜形成为在喷嘴开口周围产生不同的高度。该第一抗墨膜表现出比第二抗墨膜高的抗墨性。因此，粘附到第一抗墨膜上的墨被吸引到第二抗墨膜，从而能够稳定喷射任何类型的墨。

上述特开2002-355957描述了如下形成的两种类型的抗墨膜。首先，使光致抗蚀剂在孔板的喷射表面上形成图案，以便形成第二抗墨膜的图案。在该步骤中，将光致抗蚀剂涂敷到整个喷射表面。然后利用具有第二抗墨膜的图案的光掩模使光致抗蚀剂暴露，之后使光致抗蚀剂经受显影。接下来，将光致抗蚀剂的图案用作掩模来在孔板的没有光致抗蚀剂的部分上形成第一抗墨膜。在去除光致抗蚀剂之后，形成第二抗墨膜。由于第一抗墨膜是非导体，所以在第一抗墨膜上不形成第二抗墨膜。最终，除了喷射表面上以外，将氧等离子体施加到喷射表面的背面，以去除由有机材料制成的第一抗墨膜。

以上方法需要预先制造具有图案的光掩模以在喷嘴板上形成分别具有不同厚度的两种不同类型的抗墨膜。但是，制造光掩模花费许多工作和时间，从而导致喷嘴板的生产成本的增加。此外，当制造多种类型的喷嘴板时，必须制造用于各种类型的喷嘴板的光掩模，所述多种类型的喷嘴板的在它们的喷射开口周围形成的不同高度的各自位置是不同的。因此，以上方法不适于制造多种类型的喷嘴板。

发明内容

本发明的目的是提供一种喷嘴板制造方法，该方法使得能够在没有对需要用许多工作和时间来制造的构件的特别需求的情况下制造在喷嘴板的喷射开口周围形成不同高度的喷嘴板。

一种制造喷嘴板的方法，该喷嘴板在其上具有用于喷射液体的喷嘴孔，该方法包括：用于在待成为喷嘴板的板上形成该喷嘴孔的步骤；第一可光致固化树脂注射步骤；第一固化步骤；第一未固化树脂去除步骤；基膜形成步骤；固化树脂去除步骤；和抗水膜形成步骤。喷嘴孔在厚度方向上贯穿所述板。在第一可光致固化树脂注射步骤中，涂敷可光致固化树脂以涂布该板的第一表面，在该第一表面上形成有用作喷嘴孔的喷射开口的第一开口。此外，将可光致固化树脂注射到喷嘴孔内连续地导向第一开口的区域中。在第一固化步骤中，在从(i)设有喷嘴孔的第二开口的第二表面到(ii)第一表面的方向上对所述板施加光，以便形成第一固化树脂部，该第一固化树脂部包括：柱状部，该柱状部是在沿着从该第二表面到该第一表面的方向与第一开口重叠的区域内的可光致固化树脂的固化部分；和环形部，该环形部是围绕柱状部的位于喷嘴孔外的部分的可光致固化树脂的固化部分。在第一固化步骤之后执行的第一未固化树脂去除步骤中，去除第一表面上的可光致固化树脂的未固化部分。在第一未固化树脂去除步骤之后执行的基膜形成步骤中，在第一表面上形成基膜，其形成方式使得该基膜接触并围绕该第一固化树脂部的环形部。在基膜形成步骤之后执行的固化树脂去除步骤中，去除第一固化树脂部。在固化树脂去除步骤之后执行的抗水膜形成步骤中，形成抗水膜，以涂布基膜的表面和所述板的第一表面的从基膜暴露的部分。

在本发明中，可光致固化树脂经受过度曝光，以便形成包括柱状部和环形部的第一固化树脂部。采用该方法，能够在没有对单独制备需要许多工作和时间来制造的光掩模的特别需求的情况下形成在喷嘴板的喷射开口周围具有不同高度的喷嘴板。

附图说明

本发明的其它和进一步的目的、特征和优点将从以下结合附图的描述更充分地显现，其中：

图1是根据本发明的实施例1制造的喷嘴板的透视图。

图2是提供包括图1所示喷嘴板的喷嘴孔的部件的放大视图的纵向剖视图。

图3A至3G是顺次示出制造图1所示的喷嘴板的方法的步骤的横截面视图。

图4A至4E是顺次示出根据本发明实施例2的制造喷嘴板的方法的步骤的横截面视图。

具体实施方式

<实施例1>

图1是根据本发明的实施例1制造的喷嘴板的透视图。图1示出为大约50μm至100μm厚的做成不锈板的喷嘴板1。该喷嘴板1具有沿厚度方向通过喷嘴板形成的多个喷嘴孔3。