[发明专利]加热装置有效
申请号: | 200810087859.5 | 申请日: | 2008-03-26 |
公开(公告)号: | CN101277554A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 冈岛久和;后藤义信 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H05B3/20 | 分类号: | H05B3/20;H05B3/06;H01L21/00;H01L21/687 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张敬强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热 装置 | ||
1.一种由陶瓷构成的加热装置,其特征在于,
具备:具有加热面的板状的加热基体;以及,与该加热基体的背面,轴线方向与上述背面垂直地接合的中空筒状的支撑部件,
在上述加热基体和上述支撑部件的接合部附近,形成将该加热基体的背面和支撑部件的外表面光滑地连接的凹曲面部,该凹曲面部在包含上述支撑部件的轴线的剖面中,具有短轴方向与支撑部件的轴线方向平行的椭圆的圆弧曲线,上述凹曲面部在包含上述支撑部件的轴线的剖面中,椭圆的长轴半径B对短轴半径A的比B/A为1.5或其以上。
2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,
上述凹曲面部的表面粗糙度,按中心线平匀粗糙度Ra在0.8μm或其以下。
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