[发明专利]工厂自动化系统有效
申请号: | 200810091383.2 | 申请日: | 2008-05-08 |
公开(公告)号: | CN101303596A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 陈贤智;游志源 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;H01L21/677 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工厂 自动化 系统 | ||
1.一种工厂自动化系统,其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输,包括:
一物料管制系统主机,其可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯,并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射,其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估,其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯,而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯;
一桥接器,连接于该第一与第二自动物料处理系统,其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送;以及
一中央制造执行系统,其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机;
其中,该物料管制系统主机包括一传输分派器,该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统,以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。
2.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该桥接器包括至少一缓冲仓储。
3.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该桥接器为一悬吊式物料搬运的一部分。
4.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该桥接器为一悬吊式搬运梭的一部分。
5.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该第一自动物料处理系统为一第一制造厂的一部分,且该第二自动物料处理系统为一第二制造厂的一部分。
6.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该第一与第二自动物料处理系统为一第一制造厂的一部分。
7.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其还包括:
一第一解译器,其用以将自该传输分派器发送至该第一物料管制系统的所述多个路由信号转译为一第一通讯协定并供该第一自动物料处理系统使用;以及
一第二解译器,其用以将自该传输分派器发送至该第二物料管制系统的所述多个路由信号转译为一第二通讯协定并供该第二自动物料处理系统使用。
8.如权利要求1所述的工厂自动化系统,其中,该中央制造执行系统与联结至该第一物料管制系统的一第一制造执行系统相互通讯,以及与联结至该第二物料管制系统的一第二制造执行系统相互通讯。
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