[发明专利]工厂自动化系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造系统，且特别涉及一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输。 

背景技术

半导体装置的制造包括在一特定顺序与通常在一特定周期时间内利用多种高科技生产与度量机台来执行一连串工艺步骤所产生的效能。在晶片制造设备中的晶片逻辑系统的主要功能在正确的时间将晶片传送给每一机台，并且追踪整个工艺中的晶片的位置与状态。自动物料管理系统(AutomatedMaterial Handling System，简称为AMHS)使用于晶片制造厂中，其以较人工方式操作更有效率、更一致且更安全的方式来施行自动制造流程。制造程序通常会导致在单一制造厂与/或制造厂间的跨厂传输内的跨层(Cross-floor)与跨工作阶段(Cross-phase)的需求。 

当要传送包含晶片的晶片载具(例如，晶片传送盒(Front Opening UnifiedPod，简称为FOUP))时，制造执行系统(Manufacturing Execution System，简称为MES)决定该晶片载具应传送到制造厂中的哪个目的地。一旦决定目的地后，该制造执行系统发送一传送要求给物料管制系统(Material ControlSystem，简称为MCS)，其利用一路由搜寻引擎计算详细的传送路由，并接着通知一传送管理者(Transfer Manager)依序执行传送操作。然而，典型的制造执行系统与物料管制系统受限于单一制造厂，且无法处理跨制造厂与/或跨自动物料管理系统的传送要求。一制造厂中的制造执行系统与物料管制系统通常无法与另一独立制造厂的自动物料管理系统相互沟通。因此，不同的制造厂可能具有不同的自动物料管理系统厂商与通讯协定。 

虽然现有的系统与方法一般已能满足其预期的目的，但却无法满足所有需求。 

发明内容

基于上述目的，本发明实施例公开了一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射，其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。其中，该物料管制系统主机包括一传输分派器，该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。 

本发明实施例还公开了一种实现在一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输的一工厂自动化系统的处理方法。定义连结一第一自动物料处理系统与一第二自动物料处理系统的一桥接器。选择该第一自动物料处理系统中的一晶片并传送至该第二自动物料处理系统，其中该晶片位于一第一位置。在该第二自动物料处理系统中选择一第二位置以作为该晶片的终点。选择在该第一位置与该第二位置间传送该晶片的一路由，其中该路由包括至少一部分的该桥接器。借由该第一自动物料处理系统将该晶片自该第一位置传送至该桥接器，且该第二自动物料处理系统将该晶片自该桥接器传送至该第二位置。 

本发明实施例还公开了一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一第一物料管制系统与一联结的第一自动物料处理系统、一第二物料管制系统与一联结的第二自动物料处理系统、一第三物料管制系统与一联结的第三自动物料处理系统、一第一桥接器、一第二桥接器与一统一控制单元。该第一桥接器连接至该第一与第二自动物料处理系统，其令一晶片传送盒可在该第一与第二自动物料处理系统间传递。该第二桥接器连接至该第二与第三自动物料处理系统，其令一晶片传送盒可在该第二与第三自动物料处理系统间传递。该统一控制单元与该 第一、第二与第三物料管制系统相互通讯且协调在该第一、第二与第三自动物料处理系统间传送所述多个晶片传送盒。 

附图说明

图1显示本发明实施例的用以实现跨厂晶片传输的工厂自动化系统的架构示意图。