[发明专利]平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法

权利要求书

1、一种平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备，所述蚀刻设备包括：

蚀刻室，被构造成容纳夹具；

玻璃基底，设置在夹具上；

夹持构件，连接到夹具，以夹持玻璃基底；

传送线，连接到夹具，以将夹具传送到蚀刻室中；

喷射构件，将蚀刻剂喷射到玻璃基底的表面上，

其中，蚀刻剂的喷射压强等于或大于0.1kg/cm²，且小于0.5kg/cm²。

2、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，喷射构件设置在蚀刻室中。

3、如权利要求2所述的蚀刻设备，还包括连接到蚀刻室以移动蚀刻室的驱动部分。

4、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，喷射构件包括沿着顺时针方向和逆时针方向中的至少一个方向旋转的喷嘴。

5、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，蚀刻剂包括氟酸、磷酸和硝酸中的一种。

6、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，喷射构件和玻璃基底之间的距离大于100mm，并且等于或小于150mm。

7、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，夹持构件包括：

后夹持销，连接到至少一个玻璃基底的后表面；

能够旋转的前夹持销，连接到所述至少一个玻璃基底的前表面。

8、如权利要求7所述的蚀刻设备，其中，能够旋转的前夹持销包括具有能够与夹持构件分离和能够附于夹持构件中的至少一种能力的结构。

9、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，喷射构件和玻璃基底之间的距离为120mm。

10、如权利要求1所述的蚀刻设备，其中，多条传送线被安装在蚀刻室中。

11、一种蚀刻平板显示器的玻璃基底的方法，所述方法包括以下步骤：

将蚀刻室构造成容纳夹具；

将玻璃基底设置在夹具上；

将夹持构件连接到夹具，以夹持玻璃基底；

采用连接到夹具的传送线将夹具传送到蚀刻室中；

采用喷射构件将蚀刻剂喷射到玻璃基底的表面上，

其中，蚀刻剂的喷射压强等于或大于0.1kg/cm²，且小于0.5kg/cm²。

12、如权利要求11所述的方法，其中，将蚀刻剂喷射到玻璃基底的表面上的步骤包括：沿着顺时针方向和逆时针方向中的至少一个方向旋转喷嘴。

13、如权利要求11所述的方法，还包括以下步骤：

将驱动部分连接到蚀刻室；

采用驱动部分移动蚀刻室。

14、如权利要求11所述的方法，其中，喷射构件和玻璃基底之间的距离大于100mm，并且等于或小于150mm。

15、如权利要求11所述的方法，其中，喷射构件和玻璃基底之间的距离为120mm。

16、如权利要求11所述的方法，其中，蚀刻剂包括氟酸、磷酸和硝酸中的一种。