[发明专利]基板传送机器人

说明书

技术领域

本发明涉及的是一种机器人，特别涉及的是一种可避免增加悬臂(finger)厚度，并同时可避免因基板(如玻璃)重量而使悬臂变形下垂的基板传送机器人。

背景技术

提到基板，一般会关联平面显示器(flat panel display，FPD)、半导体晶圆(semicondoctor wafer)以及玻璃光罩(photo mask glass)，其中平面显示器如液晶显示器(liquid crystal display，LCD)、电浆显示器(plasma display panel，PDP)以及有机电激发光显示器(organic light emitting diode，OLED)。如平面显示器的基板与如半导体晶圆的基板在材料或是应用上都非常不同，不过在基板的一系列加工中却有着本质上的相同，例如曝光、显影、蚀刻、脱料(stripper)、清洗(rinsing)以及洗净(cleaning)。当这些加工依序完成后，便完成制作基板。

如此一来，以下所叙述的基板可视为包含前述的所有基板。然而，为求方便解说，在以下的叙述中，基板会参照特别如液晶显示器基板或是电浆显示器基板的平面显示器。

当基板制造商制作出基板后，便会将基板提供至基板加工公司，而一般所谓的条板箱(crate)便是用来将基板从基板制造商运送到基板加工公司，且条板箱可被理解为容置数十到数百个基板的容置体。一般而言，120～200片基板可被装载在一个条板箱内。

当装载基板的条板箱从基板制造商被运送到基板加工公司后，基板加工公司会通过玻璃投片系统将这些基板一片片投入后续的程序。一个独立的基板传送机器人会将这些待投片的基板装载至俗称卡匣(cassette)的基板承载装置，一般而言，数十到数百个基板可被装载在一个卡匣内。当特定数量的基板装载至卡匣后，卡匣会被传送以进行适当的加工。接着，基板传送机器人会将这些基板一片片拾取(pickup)进行加工，以完成加工步骤。

由于基板传送机器人是安排在不同的加工中(如对基板进行加工或是搬运基板)，因此基板传送机器人必须具有对应此加工的结构与形状。然而，以基板传送机器人装载基板至卡匣或是自卡匣拾取基板而言，基板传送机器人一般是制造成悬臂式(cantilever)以避免与卡匣干扰而污染基板，并同时将接触基板的面积最小化以稳定传送机板。韩国第10-2006-0056654号与第10-2004-0104983号公开专利已公开此悬臂式的基板传送机器人。

近来，基板的水平/垂直长度已经增加到1950mm/2250mm或1870mm/2200mm的七代厂尺寸或是2160mm/2460mm的八代厂尺寸。不仅是基板尺寸，基板重量也同时增加。

如此一来，当以前述文件所公开的技术而利用现有厂房中悬臂式的基板传送机器人来传送大型基板时，从基板下方支撑基板的悬臂(finger)将会因为基板重量而下垂(sag)。当悬臂因下垂而造成形变时，悬臂便很难准确地自卡匣中取出或插入基板。再者，悬臂很有可能会接触或碰撞卡匣，并且因此而损坏。

有鉴于此，如何传送大型基板并避免基板因为悬臂下垂而形变的方法如今正被大量发展，而其中一种方法便是将基板传送机器人的悬臂改变成中空管结构，如此以降低悬臂重量并增加悬臂强度。然而，考虑到当今大型化尺寸基板的趋势，仅用此方法仍不足以避免悬臂下垂。

另一种方法便是制作出足够厚度的悬臂以提升悬臂的弯折强度，进而避免悬臂下垂。然而，当悬臂的厚度增加时，为确保在取出或插入基板不会与较厚的悬臂产生干扰，卡匣中承载基板之间的间隔也需对应增加。当卡匣中承载基板之间的间隔变宽时，由于装载在单位卡匣中的基板数量会对应减少，因此便会产生加工损耗而使降低稼动时间(Tact time)。

如此一来，一种基板传送机器人需要被提出，其中此基板传送机器人可传送大型基板，而大型基板不会因为悬臂下垂而形变，且悬臂不会减少装载在单位卡匣中的基板数量。

发明内容

为解决上述或是其它问题，本发明提供一种基板传送机器人，其可避免增加悬臂厚度，并同时可避免因基板重量而使悬臂变形下垂。